多晶硅尾气回收吸附塔再生气回收分析

多晶硅尾气回收中吸附塔再生气的主要成分为氢气,回收利用价值较高。阐述了多晶硅尾气回收吸附塔再生气冷凝气相回收利用的过程。分析发现吸附塔反吹气,经三级冷却将反吹气中的HCl、氯硅烷,进行分离回收,所得气相氢气回收再利用,造成回收氢气中的甲烷、氮气含量随时间变化累计增加。再生分离所得气相部分需要经过再处理才可进行回收利用。     

低温氯化氢储罐的保冷设计

对-40℃氯化氢储罐的保冷设计进行了论述,选取了合适的保冷材料,分别考察了保冷厚度和环境温度与冷损失、氯化氢蒸发量的关系.     

降低合成氯硅烷中B、P杂质含量的工艺研究

采用流化床的方法,生产出了氯硅烷(三氯氢硅和四氯化硅的混合物)。氯硅烷是制备多晶硅的重要原料,其中合成氯硅烷中B、P杂质含量是影响多晶硅质量的重要因素,严重影响多晶硅的质量指标。通过采用icp-ms对合成物料中B、P杂质含量的测试。结果表明,当合成氯硅烷通过吸附装置后,B、P杂质含量能得到大范围的下降,并且在通过吸附柱的氯硅烷流量在1.2m3/h、压力为0.35MPa时B、P杂质含量趋于稳定。     

降低合成氯硅烷中B、P杂质含量的工艺研究

采用流化床的方法,生产出了氯硅烷(三氯氢硅和四氯化硅的混合物).氯硅烷是制备多晶硅的重要原料,其中合成氯硅烷中B、P杂质含量是影响多晶硅质量的重要因素,严重影响多晶硅的质量指标.通过采用icp-ms对合成物料中B、P杂质含量的测试.结果表明,当合成氯硅烷通过吸附装置后,B、P杂质含量能得到大范围的下降,并且在通过吸附柱的氯硅烷流量在1.2m |/h、压力为0.35MPa时B、P杂质含量趋于稳定.