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建立了微波消解-溴酸钾法测定电子级掺杂锑扩散源锑含量的测试方法。在样品中加入盐酸(无硝酸根),经过微波消解,用盐酸(无硝酸根)控制酸度,滴定时温度为70~90℃,以甲基橙为指示剂,用溴酸钾标准滴定溶液直接滴定锑扩散源中锑含量。实验表明,该方法回收率为99.20%~100.24%,相对标准偏差(RSD,n=6)为0.073%~0.10%,分析结果稳定、准确度高,适用于高分子材料有机锑扩散源常量滴定分析,能够满足电子级掺杂锑扩散源的分析检测要求。方法快速准确,具有良好的经济效益和社会效益。 相似文献
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建立一种微波消解-电感耦合等离子体发射光谱法(ICP-OES)测定电子级硼铝掺杂源中多种金属元素的测试方法。称样量为2.0 g(精确至±0.001 g),样品中加入6 mL硝酸,升温速率10℃/min,消解温度为180℃,消解时间30 min。用ICP-OES标准加入法进行测定。硼铝掺杂源中钠元素在0~10 mg/L范围、其余11种金属元素在0~5 mg/L范围内与光谱强度线性关系良好,相关系数均大于0.999 0。采用该方法,测定样品的精密度为1.73%~7.71%(n=7),加标回收率为93.0%~106%,分析结果准确度高,稳定性好,适用于电子级硼铝掺杂源中多种金属元素的测定。 相似文献
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