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化学工业
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1.
超纯PFA衬里及其在电子化学品领域中的应用
顾秋林
顾国跃
童华攀
《化工生产与技术》
2012,19(6):12-15,24,7
介绍了可熔性聚四氟乙烯(PFA)的特性,说明了PFA材料的耐腐蚀性能、金属离子析出水平、加工性能;对超纯PFA与普通PFA材料进行了比较,叙述了钢制设备的超纯PFA衬里结构及制造流程。介绍了常见的电子化学品,以及超纯PFA衬里在电子化学品中的应用情况。认为随着消费电子领域日趋繁荣及全球IC产业逐步转向中国大陆,对电子化学品的需求也越来越大,超纯PFA衬里的市场将迎来良好的发展时期。
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