影响CVD金刚石膜完整性的几个关键问题

直流喷射化学气相沉积金刚石膜,其完整性一直是个难以解决的技术难题,并且直接影响了其推广应用。文章通过研究金刚石膜的质量、衬鹿与膜的结合力、以及衬鹿的膨胀系数等,分析了影响金刚石膜完整性的几个关键因素。     

浅析机械制造业车间成本管理

本文对车间成本管理存在的问题进行简要剖析,分析车间成本管理的四项内容,对车间成本管理提出了相应的改善措施。     

影响CVD金刚石膜完整性的几个关键问题

直流喷射化学气相沉积金刚石膜,其完整性一直是个难以解决的技术难题,并且直接影响了其推广应用.文章通过研究金刚石膜的质量、衬底与膜的结合力、以及衬底的膨胀系数等,分析了影响金刚石膜完整性的几个关键因素.     

半开放气体循环方式制备化学气相沉积金刚石膜

直流电弧等离子喷射化学气相沉积金刚石膜是一种先进的人工合成技术.其成膜面积大,均匀性好,质量高,沉积速率快,产业化前景非常广阔.但在其生产过程中,所需要的气体消耗量很大,生产成本较高,在相当程度上制约了生产规模的进一步扩大.经过分析和实验,发现沉积系统所使用的各类气体中,用量最大、价格最昂贵的氢气和氩气在整个沉积过程的前后并没有发生任何变化.如果措施得当,经回收利用后可以大幅降低生产成本.针对这个问题,我们设计了一种半开放式气体循环沉积系统并已经投入生产应用,与开放式沉积系统相比,其气体消耗量减少了80%,显著降低了金刚石膜的生产成本,所制备的高质量CVD金刚石膜,热导率可达20 W/(cm·K)以上,磨耗比可达40万以上,工业级别CVD金刚石膜,根据产品的不同要求,生产速率可达10～25μm·h-1,自支撑膜厚度为300～3000μm,大大促进了人造金刚石膜的大规模产业化发展.     

基于PLC的直流电弧等离子喷射化学气相沉积金刚石设备自动控制系统

针对直流电弧等离子喷射化学气相沉积金刚石设备,以PLC作为系统的控制核心,触摸屏作为人机界面,梯形图为编程语言,不仅实现了设备的自动运行,而且还由上位机的组态软件通过485总线实现了多台设备的远程监视和生产数据的长期记录.实际运行结果表明,整个系统硬件可靠,软件运行稳定,达到了设计要求.