O2介质阻挡放电微等离子体制备O3

介质阻挡放电(DBD)是工业生产臭氧(O₃)最有效的方法。研究以O₂为原料气采用DBD微等离子体放电制备O₃,研究了放电间距、放电长度、放电功率以及停留时间对产生O₃的影响。此外,通过向正弦AC等离子体电源中叠加调制脉冲,探讨了脉冲占空比与调制频率对O₃生成的影响。结果表明：O₃浓度与DBD反应器的放电间距呈负相关,与O₂的停留时间呈正相关,放电功率及有效放电长度对O₃浓度的影响呈现火山形变化趋势。综合考虑O₃浓度及能量产率确定了适宜的参数。与普通正弦交流电源相比,在其基础上叠加脉冲调制电源有利于O₃的产生,而能量产率与占空比呈正相关,与调制频率呈负相关,据此确定了合适的占空比与调制频率。