SiC反射镜表面改性研究进展

采用SiC陶瓷作反射镜是目前国际上的一个研究热点。但是SiC陶瓷用作反射镜时存在各种类型的缺点,必须对SiC反射镜表面进行改性。本文综述了各种表面改性方法、制备机理以及优缺点,最后展望了未来SiC反射镜的发展方向：即低成本化和大型化。