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1.
用原子力显微镜 (AFM )来测量纳米线宽近几年发展迅速。针对AFM能对纳米线宽表面三维成像的特点 ,本文提出了一个直方图线宽计算模型 ,并通过实验数据同其他模型进行了比较。该线宽计算模型具有算法简单、抗干扰能力强的优点  相似文献   
2.
AFM探针的形貌和尺寸对纳米尺度线宽的测量有较大影响.首先建立了一个基于最小二乘的应用于AFM测量技术的线宽计量模型,并使用三种不同探针在NanoScopeⅢa型AFM上对设计线宽尺寸为1000nm的样本进行了测量.应用该模型和算法对线宽进行计算,揭示出探针尺寸对线宽测量结果的影响以及该模型对探针尺寸的依赖性.  相似文献   
3.
为了满足微电子制造技术中不断提高的刻线边缘粗糙度测量与控制精度的要求,对使用原子力显微镜(AFM)测量刻线边缘粗糙度的影响因素进行了研究.基于图像处理技术从单晶硅刻线样本的AFM测量图像中提取出线边缘粗糙度,并确定出其量化表征的参数.然后,根据线边缘粗糙度测量与表征的特点,对各种影响因素,包括探针针尖尺寸与形状的非理想性、AFM扫描图像的噪声、扫描采样问隔、压电晶体驱动精度、悬臂梁振动以及线边缘检测算法中的自由参数等进行了理论和实验分析,并分别提出了抑制及修正的方法.研究表明,在分析各种可能导致测量误差的影响因素的基础上,消除或减小其影响,可以提高刻线边缘粗糙度测量的准确度,为实现纳米尺度刻线形貌测量的精度要求提供理论与方法上的支持.  相似文献   
4.
为实现在不添加分散剂的情况下将纳米粒子均匀分散在液相物料中,提出了一种基于欠膨胀射流的液相物料纳米粉添加分散方法.该方法利用欠膨胀射流将纳米粒子以气-粉微气泡的形式分散到液相物料内部,并利用微气泡受高频挤压爆破释放的能量,以及气泡膨胀过程产生的超声波效应和高拉伸场效应来实现纳米粉在液相物料中以纳米尺度粒子分散.设计了相应的分散系统,进行了无分散剂下纳米SiO2/环氧树脂添加分散实验.通过TEM和Tg测试对实验样品进行了表征,结果表明,分散相粒径在15~30nm之间,SiO2纳米颗粒均匀地分散在环氧树脂中.Tg温度比只经过一般高速机械搅拌得到的复合材料提高了约18℃.该方法解决了SiO2纳米粉颗粒在环氧树脂中的团聚问题.  相似文献   
5.
6.
针对原子力显微镜AFM(Atomic torce microscope)在轻敲工作模式下微悬臂在谐振频率附近振动的问题,依据振动学理论和仿真分析的方法,建立了微悬臂的振动模型,仿真出了微悬臂前几阶的振动模态。得到了在保证振幅不变的情况下微悬臂各参数与其自由端偏转角的关系,指出了轻敲模式下减小AFM测量误差的方法。  相似文献   
7.
一种能跨变压器台区的电力远程抄表系统   总被引:1,自引:0,他引:1  
采用过零调制技术,利用数字差分、匹配滤波、纠错编码方法处理接收数据。系统具有较强的抗干扰能力,可实现跨配电变压器台区的远距离抄表,适合中国电网特点。  相似文献   
8.
归纳总结了交流短路融冰、直流融冰和并联电容补偿无功电流融冰三种焦耳热融冰方法的工作原理和应用情况。通过分析和公式计算,对比了这三种焦耳热融冰的主要技术参数和性能指标,  相似文献   
9.
基于物元模型的电力变压器故障的可拓诊断方法   总被引:16,自引:2,他引:14  
为了提高传统的油中溶解气体分析的诊断能力,提出了一种定性与定量相结合的电力变压器故障的可拓诊断方法。首先基于可拓学中的物元理论,建立了定性地描述电力变压器故障诊断问题的物元模型;其次引入可拓集合中的关联函数,根据故障特征定量地计算故障发生的程度;最后以195台次电力变压器为例验证了该方法的有效性。结果表明该方法能够克服IEC三比值法中无法诊断多重故障和无匹配的故障编码的不足,且具有更高的诊断准确率。  相似文献   
10.
集成检波模块的高精度激光波长稳定系统   总被引:9,自引:5,他引:4  
基于半导体激光器(LD)波长和温度之间的变化原理,对LD输出波长的稳定性进行了实验研究。采用集成有检波器件的LD组件,设计了高精度的激光波长稳定系统。该系统不需要添加任何附加装置,利用温度对波长漂移进行补偿控制,实现了波长的实时锁定。通过增加注入电流、改变设定温度的方法对系统进行验证。实验表明,该系统的波长控制精度≤士2pm;在整个激光器的寿命周期内,系统的波长稳定度≤2pm。  相似文献   
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