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Nd:Y3Al5O12透明陶瓷的超精密加工 总被引:2,自引:0,他引:2
用化学机械抛光法加工掺钕钇铝石榴石(Nd:Y3Al5O12,Nd:YAG)透明陶瓷.为了提高加工效率,在研磨阶段逐步减小B4C磨料的粒径,精密研磨和抛光阶段采用粒度为3,1 μm和0.3 μm氧化铝粉;最后,选用胶体二氧化硅作为抛光液进行化学机械抛光,以获得更好的表面光洁度.采用Wkyo激光干涉仪测量加工样品的平面度,光学显微镜观察表面宏观损伤,原子力显微镜测量表面粗糙度和微观形貌.结果表明:采用该工艺可实现高效率、高精度Nd:YAG透明陶瓷的超精密加工,加工后的Nd:YAG陶瓷表面粗糙度<0.2 nm RMS(root mean square),平面度<λ/10 (λ=633 nm),微观损伤少. 相似文献
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深紫外(DUV)相干光源是指能输出波长短于200nm相干辐射的光源,在超高分辨率光电子能谱仪的研制、半导体光刻技术、 相似文献
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深紫外非线性光学晶体KBe2BO3F2(KBBF)发展至今,已有将近20年的历史。首先简单回顾了KBBF化合物的发现、晶体生长以及基本光学性质,同时对KBBF族(MBe2BO3F2,M=K,Rb,Cs)的其它化合物如:RbBe2BO3F2和CsBe2BO3F2的晶体生长和其基本光学性质进行了报道,然后对这些新晶体产生深紫外谐波光输出的能力做了评估,最后介绍了利用KBBF晶体器件产生的深紫外相干光源在先进仪器等方面的应用。 相似文献
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研究了溶液配比和降温速率对K2Al2B2O7(KABO)晶体生长的影响,发现NaF与KABO的适宜比例为2:1,晶体生长的合适降温速率为(0.1~5)℃/d,NaF为合适助熔剂.籽晶的取向也影响晶体的质量,[110]方向是KABO晶体生长的最佳生长方向;采用顶部籽晶技术,以NaF为助熔剂可生长出尺寸为50 mm×20 mm×17mm、重30 g的高光学质量KABO透明单晶.晶体对波长2500nm以上的光表现出各向异性吸收,紫外截止边为180nm.用V型棱镜法测出的KABO晶体折射率拟合出了Sellmeier方程,计算了SHG相位匹配范围,一类相位匹配最短倍频波长为225.5 nm.KABO晶体的266 nm SHG相位匹配角为58.1°.长度为3.6 mm的晶体Nd:YAG激光器四倍频输出能量转换效率为12.3%. 相似文献
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高平均功率全固态调Q 355 nm激光器在微电子、激光加工,科研等领域有着广泛应用,如在电路板加工与立体印刷方面.电路板加工要求紫外激光在高重复频率时提供大于300 μJ的脉冲能量;立体印刷技术要求的是平均功率(一般在0.4~1 W之间).而一般的激光材料加工要求的平均功率在5~10 W水平.美国光谱物理公司用端抽运Nd∶YVO4激光获得了12 W,30 kHz的355 nm激光[1];日本三菱公司获得了18 W,25 kHz的Nd∶YAG 355 nm激光[2].我们采用双棒串接热致双折射补偿谐振腔设计及临界相位匹配的KTP和LBO晶体,经过初步实验,获得了3.4 W,4 kHz的三倍频输出. 相似文献
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系统的介绍了我国深紫外非线性光学晶体的发展,主要以KBe_2BO_3F_2(KBBF)以及Sr_2Be_2B_2O_7(SBBO)族晶体为代表。通过晶体生长、确定结构以及各种光学性能的测定,发现KBBF晶体是目前唯一能采用直接倍频方法实现深紫外谐波光输出的非线性光学晶体。SBBO族晶体由于存在畴结构,目前还不能用于深紫外相干光输出。讨论了KBBF晶体的基本光学性质以及产生深紫外相干光源的能力和效率。介绍了这些深紫外相干光源的应用,并着重介绍了这些光源在先进能谱仪方面的应用及取得的重要成果。 相似文献