可编程控制移相器设计与实现

本论文主要研究了锁相环的特性,得出通过加入控制电压,可以得到不同的移相信号.然后将原始信号和输出信号与移相后的信号通过鉴相器来比较,将比较结果通过MCU辨别是否达到要求;若没达到要求就将输出信号继续输入移相,直到达到要求后再停止.其中锁相环是用到74HC4046,它是一个集成的低功率锁相环,其中集成了一个VCO,三个鉴相器.通过74HC4046和辅助电路的设计来实现一定范围的移相.     

环氧丙烯酸酯光敏涂料的研制

以液态双酚A环氧树脂和丙烯酸为反应原料,三苯基磷为催化剂,对苯二酚为阻聚剂制得了环氧丙烯酸光敏树酯,与活性稀释剂、光敏剂配制成环氧丙烯酸酯光敏涂料.研究了环氧树脂和丙烯酸的摩尔比、温度、投料方式等对合成反应的影响.同时也考查了光敏剂对涂料性能的影响.     

微结构三维形貌无损检测的双波段显微干涉技术

功能型微结构具有调控光场或调控电子导通等功能,一般包含具有规则的几何形状,基于深度和线宽的比值,可以将其区分为高/低深宽比微结构。目前对微结构的检测,多用有损检测中的扫描电镜（SEM）剖面成像技术,而产线上迫切需要用于监测与改进制作工艺的无损检测技术。本文系统总结了作者所在研究团队十余年在微结构三维形貌无损检测方面的低相干显微干涉技术进展,其中白光显微干涉仪用于超光滑表面、台阶、微光学元件、微机械元件等低深宽比微结构的三维形貌检测,近红外显微干涉仪用于硅基高深宽比微结构的三维形貌检测。文章阐述了两波段显微干涉系统的关键技术与典型样品的检测实例,结果表明：白光显微干涉仪和近红外显微干涉仪是两种高精度的无损检测仪器,前者检测高深宽比小于等于4,后者检测高深宽比大于等于20的微结构三维形貌,数据结果是可信的。显微干涉无损检测技术获取的三维形貌数据,将有效优化微结构的制造工艺,进一步提升有关器件的性能。