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平慧慧顾皓袁雨辰庄黎伟许振良 《真空科学与技术学报》2023,(7):632-639
原子层沉积(ALD)技术能在多孔基底内沉积亚纳米精度的薄膜,从而调节孔道尺寸和界面性质。此类ALD薄膜沉积,同时受到前驱体扩散和反应的影响,这给沉积动力学研究带来了困难。本文对ALD制备ZnO薄膜过程中前驱体在γ-Al_(2)O_(3)基底外表面沉积和孔道内沉积过程建立了模型,并通过数值模拟对表面和孔道两种模型进行了参数敏感性分析,拟合得到沉积物覆盖率公式。结果表明:在表面沉积过程中,随着吸附速率常数ka、吸附态的二乙基锌(DEZ*)向单乙基锌(MEZ)转化速率常数k1、羟基浓度COH的增大,和脱附速率常数kd的减小,基底表面的薄膜沉积加快;对于孔道内沉积过程,较大的羟基浓度COH和较小的扩散系数DS,驱使薄膜沉积在较浅位置;拟合所得解析式能准确预测多孔基底外表面和孔道内的沉积物覆盖率及其分布。 相似文献
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针对我国目前置换通风在民用建筑中使用时存在的若干问题,通过对比分析欧洲供热、通风与空调联盟以及美国采暖、制冷与空调工程师协会的设计指南,指出了问题存在的根源,在对比分析的基础上,提出了解决的方法。与此同时,阐述了影响置换效果的关键因素,以及特别值得我国设计人员注意的若干问题。 相似文献
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介绍了一种简便、实用的区域负荷预测方法。该方法通过对2003年上海市东地区最高负荷、基本负荷、居民最高负荷、居民基本负荷和2004年市东地区基本负荷、居民基本负荷等参数进行统计计算，预测出2004年市东地区的最高负荷、居民最高负荷和非居民最高负荷。该预测结果与实际测得结果相比，十分接近。表明该方法对本地区高温期间最高负荷预测，具有很大的实用性。 相似文献
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MgO-MnO2-TiO2-SiO2烧结助剂中SiO2的量对低温烧结氧化铝陶瓷材料性能的影响 总被引：1，自引：1，他引：0
本文采用MgO-MnO2-TiO2-SiO2复相添加剂作为氧化铝陶瓷的烧结助剂,采用注浆成型工艺,研究了改变添加剂SiO2的量对1400℃和1450℃烧结的Al2O3陶瓷材料性能的影响.运用三点抗弯电子试验机、XRD、SEM分析了低温烧结Al2O3基陶瓷材料的力学性能和断口形貌,讨论了低温烧结Al2O3基陶瓷的烧结机理和性能.结果表明:在1450℃烧结,当不加SiO2时,弯曲强度为194 MPa;当加入0.5%(质量百分含量,下同)SiO2时,烧结Al2O3基陶瓷材料的力学性能最佳,弯曲强度为σ=299 MPa;SiO2量增加到1%时,σ=293 MPa;SiO2加入量在3%时,σ=249 MPa.SiO2的加入量从0.5%到3%对氧化铝的强度都有明显的提高,说明加入SiO2对氧化铝陶瓷的烧结是非常有利的,但随着SiO2加入量的不断加大氧化铝陶瓷力学性能有下降的趋势. 相似文献
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在"大营销"体系下,供电服务围绕着"客户导向型"的建设目标,提升供电服务能力及客户服务水平,为市场提供优质、及时、用心的服务,与客户建立并保持一种共同发展的新型供用电关系,才能使用电服务工作跃上新台阶,为上海转型发展创建智慧城市做出新贡献。结合供电服务的现状,提出进一步精细化管理和继续提升用电服务水平的理念和策略,使得供电企业在激烈的市场竞争下,继续提升社会责任与价值,做到真正的"你用电,我用心"。 相似文献
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测试应用毛细管平面辐射系统供暖的单体别墅的室内温湿度、围护结构的内表面温度、热流以及整楼的耗电情况。结果表明,在冬季应用该技术时,室内温度均匀且控制精度较高,毛细管系统从启动到稳定所需时间较短,存在进一步降低电耗的可能性。 相似文献
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馈线自动化 ( FA)是配网自动化系统的核心内容。它的主要功能是 :当线路发生故障时 ,配网自动化系统对故障区段进行判断与隔离 ,并在尽可能短的时间内恢复对非故障区段的供电。 FA的实现将对提高供电可靠性和劳动生产率有很大帮助。 FA的实现方式多种多样 ,找到一种合适的实现方式对配网自动化系统来说意义重大。1 FA的启动条件配网自动化系统要在故障发生后实现所谓的FA功能 ,必须得到一些必要的信息 ,这些信息称之为 FA的启动条件。这些启动条件主要包括 :变电站内发出的事故总信号 ,变电站内 1 0 k V出口断路器的遥信变位 ,另外还… 相似文献
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论述了电网波动对敏感用户的影响．介绍了对3个敏感用户电能质量要求的调查结果．提出了供电方可采取的主要控制措施及用电方可使用的措施(包括UPS．STATCOM．DVR．SSTS和并联电能质量调节器等)．并介绍了在上海的应用实例。 相似文献