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光刻胶针孔密度测试方法－透射铬版法的研究 总被引：1，自引：0，他引：1
光刻胶针孔密度测试方法－透射铬版法的研究喻小琦，马存恕（广州化学试剂研究所，广州 ５１０２８０）（北京化学试剂研究所，北京１０００２２）关键词光刻胶，针孔密度，透射铬版法针孔密度是表示单位面积胶膜上出现微缺陷的个数，是抗正向蚀刻能力的一种表征。测量胶... 相似文献
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