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2.
脉冲直流PCVD技术在盲孔底部沉积Ti-Si-N薄膜 总被引:3,自引:0,他引:3
用脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积(PCVD)技术在盲孔的底部获得Ti-Si-N薄膜。用扫描电子显微镜(SEM),X射线能量色散谱仪(EDX),X射线衍射仪(XRD),球痕法(ball-Crater),显微硬度计(Hv)和涂层压入仪(Pε)分析不同肓孔深度处薄膜的微观结构和力学性能。结果表明,随着盲孔深度的增加,Ti-Si-N薄膜中Ti与Si元素相对比例降低,薄膜厚度下降,薄膜与基体的结合强度有很大提高,膜基复合显微硬度下降,而薄膜的本征硬度在盲孔深度为20mm处出现最大值。 相似文献
3.
PCVD在狭缝内壁沉积Ti-Si-N薄膜的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
用脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积(PCVD)设备在狭缝的侧壁上沉积Ti-Si-N薄膜.经微观物相分析发现,在狭缝的侧壁上随着测试深度的增加,薄膜中Ti元素逐渐减少,Si含量增加,薄膜的相组成始终为nc-TiN/Si3N4.利用球痕法测定了各深度处薄膜的厚度,显微硬度仪测试了侧壁上深度不同位置处薄膜显微硬度.实验结果表明,随测试深度增加,薄膜厚度和显微硬度下降. 相似文献
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5.
东方红大轮拖SZ804下拉杆材料60Si2Mn,形状为板条状,技术要求HRC37~42要求校平,生产中出现淬火硬度不足及校平中多次出现断裂情况,这个问题长期困扰着我们,通过改进工艺把原来油淬改为水淬,增加回火时间,消除淬火应力。有效地控制了淬火硬度不足,校平断裂等,使问题得到了解决。 相似文献
6.
地基是房屋建筑的基础,一旦地基出现问题,就会直接影响到房屋建筑工程的质量。因此,若要在软土地基上建设构造物,就必须对软土地基采取一定的处理措施,增强地基强度,使其达到建筑物所需的承载能力,以确保建筑物的安全。 相似文献
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8.
在弹簧管式压力表的检定规程中,规定了因温度的变化、安装位置的差异等诸多因素引起的附加误差和修正方法.其中,有的误差是已定系统误差,可以修正;有的则因不能确定误差的大小,也无法确定其修正量,只能尽量控制减少,以达到准确测量的目的.因此,在使用中对这些误差的因素及有关使用事项应加以注意. 相似文献
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10.
泡沫陶瓷由于具有一系列优异的性能,使得其应用范围越来越广泛,其制备方法也在不断地发展.先驱体转化法制备泡沫陶瓷是20世纪末才出现的一种新型工艺.它具有制备温度低、陶瓷组成和结构町设计、容易成型复杂构件等优点,成为目前泡沫陶瓷制备方法中的一个研究热点.根据泡沫陶瓷制备过程中成孔原理的不同,先驱体转化法制备泡沫陶瓷大致町以分为三类:(1)直接发泡法;(2)有机泡沫浸渍法;(3)添加造孔剂法.本文详细地介绍了由这三类先驱体转化法制备泡沫陶瓷的研究现状,并分析了其优缺点以及亟待解决的问题. 相似文献