关于光刻机精细对准方法的研究

近些年随着光科技术整体水平的提高以及科学技术的发展，人们对于光刻机精细对针技术系统提出了更多更高的要求，文章就从这个背景出发，首先针对目前光刻机需要高精度的对准系统进行相应的分析和设计探讨，同时提出了一些相对实用的办法，最终要求的是能够满足高精度光刻机的需求，为此文章对光刻机精细对准进行了进一步的深入研究。     

城市基础设施工程规划的范畴与任务

本文主要论述了城市基础设施工程规划的目标与范畴,城市基础设施工程规划的主要任务与内容。     

激光干涉光刻技术的分析

在微细加工和集成电路（IC）制造当中,光学光刻技术是毋庸置疑的主流技术。现在的Ic集成度越来越高,这就对光刻分辨力有了更好的要求。但光刻物镜数值孔径（NA）和曝光波长（入）在一定程度上限制光学光刻的分辨极限。作为一项新兴光刻技术的激光干涉光刻,不仅设备价格较低、结构简单,而且工作效率高、分辨率高、大视场曝光、无畸变、焦长深等许多独特之处,分辨极限更是达到了入／4的水平,在微细加工、大屏幕显示器、微电子和光电子器件、亚波长光栅、光子晶体和纳米图形制造等相关领域有很好的应用,极大拓展了这些领域在未来的进步空间。     

酰胺化改性苯乙烯-马来酸酐共聚物降凝剂的制备与性能

苯乙烯与马来酸酐在引发剂(BPO)的作用下反应得到苯乙烯-马来酸酐共聚物(SMA),再与混合高碳胺酰胺化得到目标产物。通过正交实验对产率影响的研究,获得聚合反应的较优工艺条件:n(马来酸酐)∶n(苯乙烯)=1∶1,聚合反应温度80℃,溶剂用量(质量分数)90%,引发剂用量(以原料总量计)1.0%;通过酰胺化反应中各因素对降凝效果的影响,得到制备目标产物的较优条件:SMA与混合高碳胺摩尔比为1∶2,催化剂用量为1.5%,酰胺化时间为5h。当加剂量为0.3%时,试验原油可降低7℃。     

两性木质素分散剂的合成及表征

以亚硫酸氢钠为磺化剂,对木质素磺酸钙进行磺化;以十六烷基二甲基叔胺、环氧氯丙烷为原料,合成了中间体(2,3-环氧丙基)十六烷基二甲基氯化铵;再以四丁基溴化铵为相转移催化剂,与磺化木质素磺酸钙(SL)的酚羟基反应,合成了木质素两性表面活性剂(LAS).通过正交试验确定了最佳磺化条件:磺化剂用量2.0 g,反应时间8 h,反应温度95℃,木质素磺酸钙的相对磺化度为1.284;LAS的最佳合成条件:m(SL∶)m(中间体)=1∶2.5,相转移催化剂用量为总质量的0.4%,pH=9,55℃反应3 h,产物中的含氮量为2.19%.通过傅里叶变换红外光谱、紫外光谱证实了目标产物结构;并进行接触角和表面张力测试,结果表明,LAS的分散性有明显改善.     

城市燃气民用安检可燃气体检漏仪选型建议

近年来,随着城市扩张和燃气行业快速发展,民用燃气户数呈现爆发式增长,对燃气企业安全管理带来巨大挑战。燃气企业对用户定期安全检查既是履行企业义务的需要,也能够及时发现安全隐患,将安全事故消灭在萌芽中。安检人员使用的可燃气体检漏仪能否快速准确发现燃气泄漏点,将严重影响安全检查的准确性和效率。本文根据不同环境下4个厂家八台不同型号可燃气体检漏仪的测试数据,并结合实际安全检查需求,提出选型建议供燃气企业参考。     

木质素磺酸钠的改性及应用研究

采用超滤分级的方法筛选出相对分子质量在5 000～10000的木质素磺酸钠,对其进行了丙烯酸接枝聚合.通过傅立叶红外光谱分析(FTIR)对其结构进行了表征,并测定了其表面张力、接触角以及进行了水煤浆性能测试.实验表明,与木质素磺酸钠相比,接枝聚合产物LA能更有效地降低表面张力,接触角θLA＜θ木质素磺酸钠,应用于水煤浆(CWS)添加剂可使黏度降低100 mPa·s～300 mPa·s,与萘磺酸钠作添加剂的水煤浆黏度相当,水煤浆的静态稳定性也明显增强.     

一种木质素磺酸盐两性表面活性剂的合成及表征

首先使环氧氯丙烷与木质素磺酸钙(SL)在相转移催化剂四丁基溴化铵作用下发生反应,生成木质素中间体;然后中间体再与N-甲基吡咯烷酮(NMP)反应生成木质素磺酸钙两性表面活性剂(LSAS)。通过正交试验确定较佳反应条件为:m(SL)∶m(NMP)=1∶2.0,反应时间为3.5 h,pH=9,反应温度为80℃,此时产物中w(氮)=1.51%。通过元素分析、红外光谱和紫外光谱确证了目标产物的结构。     

DMDAAC/木素磺酸钠接枝共聚物的制备及应用

以二甲基二烯丙基氯化铵(DMDAAC)与木素磺酸钠为原料,合成了两性水煤浆分散剂,探讨DMDAAC用量、引发剂用量、反应时间、反应温度对水煤浆性能的影响。用差示紫外光谱法测定了产物LD和LS的酚羟基含量,进一步验证了接枝聚合的反应机理;通过凝胶渗透色谱(GPC)测定了其分子量以及分子量分布的变化,并通过扫描电镜(SEM)对接枝聚合产物的外观形貌做出了分析。对接枝聚合产物做水煤浆性能测试,表明产物具有更好的流变性能以及静态稳定性。