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改良西门子法是生产多晶硅的主流工艺, 四氯化硅的氢化技术是其改良的关键。传统的热氢化和冷氢化方法存在着能耗高和转化率低的缺点。本文介绍了四氯化硅制备三氯氢硅的等离子体氢化技术, 概述了热等离子氢化方法, 主要包括直流放电等离子体法、高压射频等离子体法、低压射频等离子体法、微波等离子体法等, 简述了冷等离子氢化方法, 并对介质阻挡放电等离子体法进行了介绍和实验探索。对各种等离子体氢化方法进行了综合性的分类和分析讨论, 指出了现存各方法的优缺点, 提出了等离子氢化技术在工业化时的关键难题, 并对各种方法的应用前景进行了展望。 相似文献
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