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解决传统刀具耐磨涂层导热性差的问题。本文采用直流磁控溅射方法,在不同氮气流量下制备了(TiAlTaCrZr)N涂层,研究了不同氮含量对涂层微结构和硬度、结合力、导热等性能的影响。随着氮气流量的增加,涂层中N含量增加,涂层微观结构会由纳米晶向柱状晶转变。涂层的硬度从TiAlTaCrZr 涂层的11.0 GPa增加到5 SCCM氮流量时(TiAlTaCrZr)N 涂层的20.6 GPa。涂层在氮气流量为5 SCCM时膜基结合力可达到130 N以上,之后随着氮含量增加逐渐降低。(TiAlTaCrZr)N涂层的导热性均优于TiAlN涂层的导热性,但随着氮含量增加导热性降低。(TiAlTaCrZr)N涂层的高导热性、高结合力、高硬度等特性使其在钛合金高速切削时切削距离比TiAlN涂层提高175%,这为钛合金加工提供了一种新型耐磨涂层。 相似文献
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