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激光干涉测量中的误差分析与补偿   总被引:4,自引:0,他引:4  
介绍了双频激光干涉仪的测量原理,从安装和测量等方面深入分析了激光干涉测量所固有的系统误差、阿贝误差及余弦误差、环境误差及延时误差,讨论了各种误差对测量结果的影响,并给出了相应的误差补偿方法。  相似文献   
2.
基于VME总线的并行性、可扩展性以及实时性等特性,构建了一种基于VME的多处理器间的高速数据传输系统,提出了非复用同步广播式总线的概念以及基于此总线的数据交换机制,以满足微加工领域的超精密运动控制中强实时和精密同步传输的要求.  相似文献   
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