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相对于传统化学机械抛光(CMP)技术存在的磨料浪费和抛光液污染环境等问题,一种以海藻酸钠(SA)水凝胶为基体的纳米磨料抛光工具开始展现其潜在的应用前景和环保优势.为了解决凝胶干燥成膜过程中基体严重收缩导致的磨料层很薄以及储存过程中基体继续失水引起的工具表面干裂失效等问题,采用了向基体中添加干燥控制化学添加剂(DCCA)的方法;并通过正交实验和极差分析,分析了不同DCCA对基体收缩的影响程度,选择了最佳的添加剂浓度配比.最后通过硅片抛光试验,对改良后的工具加工性能进行了检验.试验结果表明,向基体中添加质量分数为4%的纳米二氧化硅、12%的蔗糖和0.14%的十二烷基硫酸钠(SDS)对基体收缩的抑制效果最明显,磨料层的厚度提高了1.7倍,且在储存过程中不再出现明显的脱水失效.同时,该工具的基体变成了疏松多孔的结构,进而提高了工具的加工性能. 相似文献
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简要地介绍了一种滑阀式直动型溢流阀的工作原理,用AMESim中的HCD库对其进行建模仿真,并分析了其动态特性,得到了影响其动态特性的主要参数。 相似文献
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3D打印技术作为一种快速成形技术,为复杂结构金刚石工具的制备提供了便利,是未来金刚石工具一体化成形发展的方向之一.本文介绍了用于制备金刚石工具的SLS、SLM、SLA、DIW等3D打印技术的基本原理及其在金刚石工具制备方面的研究进展,分析了使用不同结合剂时3D打印金刚石工具的特点,并对未来金刚石工具的发展进行了展望. 相似文献
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