磁控溅射铝镀层组织对316L不锈钢阳极氧化微孔形成的影响

采用非平衡磁控溅射方法在316L不锈钢表面制备了不同形态与组织结构的铝膜,以该铝膜为模板,通过阳极氧化的方法,在316L不锈钢基体上制备了微孔.研究了铝膜的组织结构对不锈钢表面微孔形成的影响,并分析了基体上微孔的形成机制.结果表明,铝膜结构对微孔制备存在显著影响.当镀铝层晶粒细小、结构致密时,经过阳极氧化后,基体表面上能形成适于承载缓释药物的密度大、孔径小、形状规则的微孔;当镀铝层组织疏松多孔时,在基体表面生成的孔形状不规则,孔径大、密度小.