全自动双轴精密划片机的研制

为提高划片机的划片质量和划片效率，研制全自动双轴精密划片机。整机采用了龙门式结构，工具轴Y1与Y2采用并列平行的结构设计，使用全闭环控制；旋转工作台采用DD马达直接驱动；上下料系统可实现多盘的全自动上下料。检测结果表明:Y1/Y2轴的全程定位精度达到 1.5 μm，Z1/Z2轴的重复定位精度达到 1.0 μm，工作台平面度达到 4.3 μm。划切试验结果表明:划切沟槽的实际深度与设计深度的最大误差为5.2 μm，划切痕迹的实际位置与设计位置的最大误差为4.8 μm，划切表面平整光滑，崩边小，无毛刺。与国内传统的单轴划片机相比，所研制的双轴划片机划片效率提高了80%，划片质量得到了明显提高。