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在进行理论分析证实可行性和模拟仿真优化参数后,利用非硅表面微加工方法中的牺牲层工艺制备了一种扭梁悬臂梁支撑的扭摆式MEMS永磁双稳态机构.该双稳态结构尺寸为1.9mm×1.6mm×0.03mm,通过永磁力实现稳态姿态无功耗保持,通过对其单侧触点施加纵向驱动力使之达到30μm的纵向驱动位移,可以实现机构的双稳态姿态切换,可以通过控制永磁体磁片、悬臂梁和扭梁的尺寸来灵活调控稳态切换所需的驱动力矩.此双稳态机构可与电磁驱动、电热驱动和静电驱动等类型的微驱动器联用构成永磁双稳态MEMS微继电器. 相似文献
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计算机网络安全分析研究 总被引:1,自引:0,他引:1
网络安全在当今社会已经是大家普遍所重视、关心的一个问题。文章从技术角度、安全管理等方面来分析说明计算机网络安全问题,为大家上网提供安全便捷的服务。 相似文献
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介绍了一种简化的煤泥重介质分选工艺,即从合格介质泵的供介主管上直接分出一支管路,把合格介质的一部分作为分流直接供给煤泥重介质旋流器,实现煤泥重介分选和合格介质分流双重功能,实践表明,采用该工艺提高了粗粒精煤的产率,减少了精煤中的细粒级高灰含量。 相似文献
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