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1.
形成SOI结构的ELO技术研究 总被引:1,自引:0,他引:1
本文研究了在常压外延系统中,利用 SiCl_4/H_2/Br_2体系在SiO_2上外延横向生长(ELO)单晶硅技术.比较了Br_2和HCl对硅的腐蚀速率,发现前者对娃的腐蚀速率约比后者慢一个数量级,指出Br_2的引入有着重要意义.给出了Br_2和H_2对Si和SiO_2的腐蚀速率曲线,讨论了外延横向生长速率对SOI结构的材料表面形貌的影响.在该 SOI膜上制造了 MOS/SOI器件,其N沟最大电子迁移率为360cm~2/V.s(沟道掺杂浓度为 1×10~(16)/cm~3),源-漏截止电流为 9.4×10~(-10)A/μm. 相似文献
2.
与传统育果袋纸生产方法相比,采用印刷法生产育果袋纸具有生产效率高、环境友好等特点.在前期研究基础上,本文探讨了印刷法生产育果袋纸工艺设备的改造方案,可实现育果袋纸原纸生产与后续印刷过程连续化的目的.此外,还对以不同原料采用传统生产工艺——层合法制备育果套袋纸和以OCC为原料采用印刷法制备育果套袋纸的生产成本进行了比较.改造结果表明:无论采用圆网纸机或长网纸机,通过对设备进行简单地调整或增加印刷单元,即可实现印刷法育果套袋纸工艺的连续化生产;原料成本核算结果表明:以废旧瓦楞纸板纸浆为原料采用印刷法制备育果袋纸,其成本虽与传统方法相当,但却提高了生产效率,降低了环境污染.因此,若在今后的研究中,能够研究开发出适合育果袋纸生产的低成本油墨,对于育果袋纸产业而言具有较大的借鉴意义. 相似文献
3.
为了更好地解决育果套袋外袋纸在生产过程中,利用碳黑进行浆内染色而造成的一系列问题,如碳黑用量高、碳黑流失严重、生产成本高、环境污染等,提出了一种生产加工育果套袋外袋纸的方法——印刷法.研究了印刷法制备前后纸页性能的差异和纸页耐久性,并深讨了印刷压力、油墨用量等对纸张性能的影响,从而确定了最佳的印刷工艺. 相似文献
4.
对浙江红麻皮的化学成份和纤维形态进行了观察与分析,在此基础上,着重对其制浆、漂白、打浆性能进行了探讨,并与安徽红麻皮相比较,揭示了不同产地红麻皮制浆性能的差异,根据实验结果总结出浙江红麻皮适宜的制浆工艺. 相似文献
6.
7.
8.
采用PFI磨浆机和槽式打浆机对杨木APMP浆进行打浆,分别研究了不同浓度打浆对纤维形态及质量、成纸性能的影响。利用光学显微镜及纤维质量分析仪(FAQ)观测了纤维形态变化,分析了纤维的长度、卷曲、扭结等形态参数及细小纤维含量的变化。对两种不同浓度、磨浆方式下的高低游离度浆料进行配抄,与APMP生产线二段磨后浆料即成品浆料的成纸性能进行比较。结果表明,随着磨浆程度的提高,纤维长度下降,纤维卷曲指数与扭结指数先增加后下降,细小纤维含量增加。与槽式打浆成浆性能相比,PFI磨浆后纤维的切断少,纤维压溃变得比较显著,纤维分丝帚化优越,表现出了更好的纤维间结合能力。 相似文献
9.
10.