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本文研究了TiN薄膜在化学气相沉积、物理气相沉积(包括热灯丝离子镀和多弧离子镀)以及等离子增强化学气相沉积等不同生成条件下的内应力变化。并通过改变钢及硬质合金基体的化学成份和表面状态。考察了基体材料对薄膜应力的影响。在此基础上,对薄膜内应力的形成机制进行了分析讨论。 相似文献
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由于二维矩阵的应用较多,较有典型性,因此本文主要讨论二维矩阵的实现。以实现矩阵A(m,n)作为例子.其中m、n为矩阵A的行列数,i、j为行,列下标。 相似文献
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高效混合设备在钛白盐处理工艺中的应用 总被引:2,自引:0,他引:2
系统研究了Si置换部位Fe的Sm2Fe17xSix(x=0,1,2,3)化合物及其氢化物的磁性能。首次发现Sm2(Fe,Si)17化合物对应的氢化物升温时测得的居里温度比降温时测得的居高温度高,其差值为ΔTc^*。详细讨论了ΔTc^*与Sm2(Fe,Si)17化合物及其氢化物的结构稳定性的关系。 相似文献