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1.
2.
基于聚焦离子束注入的微纳加工技术研究 总被引:1,自引:0,他引:1
提出了聚焦离子束注入(focused ion beam implantation,FIBI)和聚焦离子束XeF2气体辅助刻蚀(gas assisted etching,GAE)相结合的微纳加工技术。通过扫描电镜观察FIBI横截面研究了聚焦离子束加工参数与离子注入深度的关系。当镓离子剂量大于1.4×1017ion/cm2时,聚焦离子束注入层中观察到均匀分布、直径10~15nm的纳米颗粒层。以此作为XeF2气体反应的掩膜,利用聚焦离子束XeF2气体辅助刻蚀(FIB-GAE)技术实现了多种微纳米级结构和器件加工,如纳米光栅、纳米电极和微正弦结构等。结果表明该方法灵活高效,很有发展前途。 相似文献
3.
分析了国内外起精密机床及其测量系统的发展,并在我国首次提出将双路双频激光测量系统用于超精密机床的在线测量.该系统具有采集速度快、结构紧凑、通用性好的特点,为超精密机床的研制奠定了基础. 相似文献
4.
分析了国内外超精密机床及其测量系统的发展,并在我国首次提出将双路双频激光测量系统用于超精密机床的在线测量,该系统具有采集速度快,结构紧凑,通用性好的特点,为超精密机床的研制奠定了基础。 相似文献
5.
探讨了制造技术发展趋势,论述了制造历史发展的三个阶段,指出原子及近原子尺度制造(ACSM)是下一代制造技术的主流发展趋势,对未来科技发展和高端元件制造具有重要意义。详细分析阐述了ACSM的主要研究内容及关键科学问题,并提出了相应的建议和措施。 相似文献
6.
超精密机床是实现超精密加工的必要条件,它的研制成功对微电子、国防等尖端技术具有十分重要的意义。本文研究了超精密机床的关键部分——激光在线测量系统,并对其快速数据采集系统的硬件设计进行了深入的探讨,为超精密机床的研制奠定了基础。 相似文献
7.
石英玻璃的化学机械磨削加工 总被引:2,自引:1,他引:2
为了实现石英玻璃基板的高效、高质量加工,进一步改善光掩模设备的性能,进行了石英玻璃化学机械磨削(CMG)加工技术的研究。通过在磨削过程中主动增强磨粒、结合剂以及磨削液与工件的化学反应,并使化学反应与机械去除作用形成动态平衡,从而消除因材料脆性去除而造成的表面损伤等,实现了大口径玻璃工件的高表面质量、高形状精度的加工。针对石英玻璃CMG加工的特点,开发了CMG专用砂轮及磨削液,利用正交实验法优化了石英玻璃CMG加工工艺参数,分析了CMG加工过程中磨削压力、砂轮转速、磨削液流量、pH值等因素对加工表面粗糙度及加工效率的影响,并利用优化后的工艺参数加工得到了Ra为0.795nm的石英玻璃表面。加工后基板的光学性能和化学机械抛光(CMP)加工基板的光学性能相同,能够满足光掩模设备的性能需求。 相似文献
8.
提出了利用金刚石涂层的金属线对光纤定位器件上微小孔抛光的新方法.为验证该方法,设计并制造了一个微型样机.该机器采用了振动系统以提高加工效率.为优化加工参数进行了系统的工艺研究.实验结果表明,采用这种抛光方法加工的微小内孔表面粗糙度可达到0.065μm. 相似文献
9.
针对大尺寸自由曲面铝反射镜在单点金刚石车削(SPDT)后出现的划伤、波纹等缺陷,研究了抛光介质和加工参数对自由曲面铝合金超精密抛光结果的影响.利用Wyko NT9300白光干涉仪和VHX500超景深显微镜对AA6061铝合金抛光表面进行了检测,将抛光前后的表面形貌以及不同条件下的抛光结果进行了比较.实验中采用质量分数不同的金刚石油性悬浮液作为抛光液,采用羊毛轮作为抛光轮,在一台精密加工中心上先后进行了平面抛光和自由曲面抛光实验.实验结果表明,工件的表面粗糙度Ra由抛光前的144.59 nm降低到了抛光后的6.03nm,其中油性润滑剂在抛光过程中起微量去除和降低划擦几率的关键作用,使用优化的工艺参数在AA6061自由曲面上获得了理想镜面. 相似文献
10.
本文提出了一种新的渐开线机构。它是一种钢带柔韧机构与绳轮机构组成的组合机构。这种单付无间隙机构具有结构简单和精度高等优点。但是,由于影响工作精度的因素很多,无法采用传统方法设计。本文提出了一套计算机优化设计方法,解决了结构尺寸优化设计问题,并用试验对数学模型进行了验证。 相似文献