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1.
2.
本文研究Zr薄膜在等离子体作用下的氢化特性,测试表明,与分子氢相比,氢等离子体作用下氢化速率明显增高,在室温和≈2Pa氢压的DC放电条件下,氧化10min样品的氢化浓度可达饱和值,即66.67(原子分数,%),远大于该压强下的气体氢化浓度,在非超清洁系统中,等离子体氢化在样品表面产生大量的氧污染和少量的碳污染,少量的表面氧化物并不阻碍等离子体氢化,但随着污染的增加,氢化浓度却大大减少,Ni对样品表面氢分子解离吸附和氢原子再结合逸出有着不同程度的催化作用,在低的放电压强和放电电流下,表面镀Ni使Zr的稳态氢化浓度减小,而在高压强、低电流下,表面镀Ni可增加Zr的氢化效率。 相似文献
3.
4.
借助于透射电子显微镜(TEM)研究了Cu-Cr、Cu-Ti双层离子束混合。分别用200keVAr~ 和350keVXe~ 注入Cu-Cr、Cu-Ti双层薄膜,对其混合后的表面硬度和电阻进行了测量。发现Cu-Cr双层混合,在10~(17)/cm~2Ar~ 注入剂量时,TEM形貌图出现了沟纹,为一离子择优溅射效果,此时形成了单一的Cu基亚稳相固溶体,经200℃退火后,有孪晶生成,Cr沉淀析出,而Cu-Ti双层离子束混合有Cu_3Ti_2相生成,在400℃退火时生成了Cu_3Ti相。离子束混合的表面硬度和电阻都有了显著地增加。经100~400℃退火,其表面硬度和电阻的变化主要受退火前混合程度、热处理引起的相变及损伤程度的综合影响。 相似文献
5.
使用Monte Carlo方法模拟350keVXe~ 注入Cu/Ti双层结构,研究界面所造成的离子浓度分布的不连续性,并讨论界面位置对浓度分布的影响。在模拟600keV Bi注入Al/Ti双层结构时,当考虑有界面势存在,则其理论值与实验值符合得更好。 相似文献
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7.
地下管线综合图是地下管线普查工作的最终成果,也是地下管线规划、建设和管理的基础资料.随着城市建设的迅猛发展,利用电子计算机对地下管线管查成果进行动态管理,并担供各项成果成图资料,是现代技术进步和城市建设发展的必然要求.目前,利用计算机辅助制图系统进行地下管线的管理及其辅助制图已成为现实.本文在实践的基础上,对其开发及应用作些探讨. 相似文献
8.
研制了1种用在离子束细胞刻蚀装置中的小型腔式微波离子源,它由石英放电管、同轴谐振腔和封装在管一端的二电极引出系统组成。该源由同轴腔激发起的表面波在石英管内产生等离子体柱。为了提高柱末端等离子体离子引出流密度,选用了在内径7.0mm直管的一端加上一内径5.0mm衬管的放电管。在微波频率为2.45GHz,输入功率为93W下,氮的引出流密度分别为48.4mA/cm2和91.7mA/cm2。这种表面波放电等离子体源体积小、结构简单,可在较宽的压强范围内产生重复性好、工作稳定的等离子体柱。 相似文献
9.
本文设计了一种口径为φ200毫米的可换式抽气面结构的致冷机低温泵,粘有吸附剂的抽气板用可拆紧固件固定,具有易装和更换的优越性,其冷阵结构使非凝性气体易流向吸附剂材料。作者分析了冷阵结构与低温泵抽气性能的关系,并用Oatley—MonteCarlo方法对一、二级冷阵结构参数进行了优化,使该泵抽气效率的设计计算值达到了较高水平,对 N2为0.40, H2为0.225,尤其对 H2,远远超过了国外同口径致冷机低温泵的最高指标(0.15)。 相似文献
10.
用激光散射法对聚氯乙烯糊树脂(PPVC)浆料粒径及其分布和粉料颗粒粒径及其强度进行了测定和研究。结果表明:初级粒子的粒径大小和分布是决定PPVC树脂糊性能的关键因素;在一定范围内(30-60μm),二次粒子颗粒强度即二次粒子的解碎程度是影响PPVC树脂成糊性能的重要因素之一。 相似文献