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为了提高激光辅助加工效率,设计一种自动对焦高精度大行程精密定位工作台。该平台的光学对焦理论以激光三角法为基础,这是典型的非接触式测量,不需要计算机的对比计算,这也是该机构精度大、误差小的原因之一。同时,该平台机构在竖直方向上的位移能够达到100μm,这是普通精密机构很难达到的。传动部分中,丝杠两端采用交叉滚子轴承作为支撑,提高机构精度和稳定性。同时,利用压电陶瓷与柔性铰链相连作为微位移驱动器,实现平台精密定位和自动对焦。对焦过程中,不同的离焦量对应不同的LED信号灯提示,同时报警器会发出相应的报警信号提醒。驱动部分应用双联机构,避免了直流电机在驱动时产生震颤的问题,很大程度上提高了对焦平台的精度和对焦效率。 相似文献
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