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YG13硼化处理后沉积气压对金刚石薄膜的影响 总被引:1,自引:2,他引:1
采用超高真空热丝化学气相沉积(HFCVD)系统,以甲烷和氢气为反应气体,在YG13(WC-13%Co)硬质合金基体上沉积金刚石薄膜。用场发射扫描电子显微镜(FESEM)和X射线衍射仪(XRD)对金刚石薄膜进行检测分析,研究YG13经950℃、3h硼化预处理后沉积气压对金刚石薄膜形貌和生长织构的影响;通过压痕法比较硼化与二步法两种预处理方法对金刚石薄膜附着性能的影响。结果表明,基体经硼化预处理后表面形成CoB、CoW2B2、CoW3B3相;当沉积温度为750~800℃,碳源浓度为3.3%时,薄膜表面形貌和生长织构随着沉积气压改变有明显的变化;硼化预处理后所得样品在1500N载荷下压痕表现出良好的附着性能,较二步法预处理更加有效地改善了膜-基附着性能。 相似文献
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采用热丝化学气相沉积(HFCVD)方法在Mo基体上沉积金刚石薄膜,使用扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)对薄膜样品进行分析检测,研究了表面形核密度随碳源浓度的变化.结果表明:随着碳源浓度增加表面形核密度增大,当碳源浓度达到3%时,表面形核密度质量最佳,当浓度进一步增大时,形核密度下降;随着碳源浓度增加,生长加快,当生长过快时影响形核过程,形核密度下降. 相似文献
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为了测量高温或其他不宜直接接触的工件,提出了一种基于Canny算子的边缘检测法测量工件的尺寸,该方法通过对原始器件图像的二值化处理,提取工件的轮廓,再进行阈值检测并返回轮廓坐标从而确定工件的相关参数。与传统接触式测量方法相比,该方法能对高温等物体进行测量,同时该方法有测量精度高等特点。理论及计算机仿真表明,该方法切实有效,有良好的应用前景。 相似文献
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提出了一种混合快速傅立叶变换与分数阶频率域互相关算法的新算法,对LFM信号进行检测与参数联合估计,该算法不仅能够在低信噪比条件下对LFM信号进行检测,还能够与匹配傅立叶变换混合求解获得包含时延及多谱勒频移(Doppler shift)参数精确参数估计。在分数阶频率域互相关中,不必进行角度的一维及二维搜索,从而避免了其效率低并且复杂的缺点,计算机的仿真结果证明了这种方法简洁以及效率高的特点。 相似文献
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