阳光总在风雨后

“改革创新，提质增效”就是要通过改革的方法、创新的举措，来提高质量、提高效率、增加效益，凡是符合这个要求的，我们都要大胆去尝试、努力去争取。——摘自《张麟在公司一届三次职代会上的讲话》     

微机控制聚焦离子束扫描装置的研制与实验

一、引言近年来,人们对FIB(聚焦离子束)装置用于大规模集喊电路制作的离子束曝光技术产生了很大兴趣。离子束曝光对抗蚀剂材料有较高的灵敏度,离子在材料中     

高压冷阴极电子枪

电子感应加速器的技术指标中,γ射线强度是较重要的一个。提高强度可使物理实验结果更加准确,在探伤时可减少曝光时间。由俘获理输可知,提高强度的措施有:1.提高电子枪的注入电压;2.改善磁场的位阱形状;3.增加真空盒截面积;4.改进电子枪光学系统,减小束流散角;5.改进阴极,增加发射电流强度。本文只讨论为提高注入电压所采用的新型高压电源及改用冷阴极电子枪的问题。     

聚焦离子束微细加工技术实验研究

一、引言近年来,随着高亮度液态金属离子源的出现,亚微米聚焦离子束技术迅速发展。FIB(聚焦离子束)在半导体和微型特殊器件制作技术中将发挥越来越大的作用。日本日立用B~+FIB无掩模注入Si中,制作出一种新型亚微米沟道长度器件—离子束MOSFET,它在电流增益、漏极击穿电压和短沟道阈值效应等方面都优于传统方法制造的同类器件;在FIB无掩模刻蚀、曝光技术中,已获得30nm的高分辨率的图案;FIB已成功地制成分辨率小于0.25μm的同步辐射光、X射线曝光用的掩模;利用FIB还可修理亚微米的掩模缺陷,目前已有商品FIB掩模修正仪问世;用FIB刻蚀亚微米小孔阵列,可加工超导电子学器件。本文报道在我们设计加工的FIB系统上刻蚀金膜、硅片及自显影FIB曝光的实验结果。本系统已能进行亚微米级微细加工工艺研究。     

柳河水库包出新貌

木兰县柳河水库去年春天实行分业承包后,出现了一派活力,本刊创刊号上已发表。分业承包不到一年,就出现了新面貌: 工程管理面貌一新。水库枢纽工程管理专业户刘文信承包后就把办公室粉刷一新,种了20池子花草,在大坝上安设了里程桩,将坝肩整平取直。合     

钢绳罐道滚动导向装置

<正> 我矿将军寨坑口箕斗井,自1984年10月正式投产以来,由于钢绳罐道滑动导向装置衬套,在较短的运行时间内,就被严重磨损,需要经常更换,给生产造成了一定的影响。衬套材料虽由尼龙改换成黄铜,也没有解决衬套磨损快,使用寿命短的问题。为了解决这一问题,我们根据生产实践及力学     

25MeV电子感应加速器对石油钻井钻头进行无损探伤

用25MeV电子感应加速器产生的韧致辐射,对40个表面镶有金刚石的石油钻头进行了无损探伤,搞清了钻头的结构,并发现6个钻头有裂纹性缺陷。加速器探伤具有探伤厚度大(最大可达500mm)、对工件表面光洁度无特殊要求、有较高的灵敏度(一般可达1％)、直观性好(能直接反映出工件内缺陷的形状及其位置)等优点,适用于复合材料及不同密度材料组成的工件的探伤。     

我们走向辉煌——大冶有色金属集团控股有限公司成立60周年巡礼

正60年前,大冶有色人披荆斩棘建设起新中国最早的有色金属矿山之一。伴随着中国铜工业的脚步,大冶有色不断实现跨越式发展,在中国铜业发展的壮丽篇章中留下了浓墨重彩的一笔。引子我们探索创新,我们追求理想我们是人类矿冶文明的接力者锤炼,开拓,我们凝聚力量我们解放思想,我们以市场为导向我们是有色金属工业的开拓者责任,忠诚,我们勇于担当     

建立五大机制 打造千亿企业

正在大冶有色发展的历程中,不断探索建立现代企业制度的体制机制,增强了企业的活力,使企业产值连续几年实现翻番,在"十二五"期间将把大冶有色打造成千亿元企业。多年来,大冶有色金属集团控股有限公司(以下简称"大冶有色")始终坚持以"以市场为导向,以效益为中心"的发展理念,不断探索建立现代企业制度的体制机制,通过建立五大机制,实施五大战略,企业产值连续几年实现翻番,2013年实现产值830亿元,打造千亿企业的梦想指日可待。     

静电偏转系统象差的计算和静电MOL系统的研究

一、引言 近年来,随着高亮度离子源的出现,微米、亚微米聚焦离子束装置迅速发展起来。其应用范围也不断扩大,包括:扫描离子显微镜、二次离子质谱仪、集成电路的掩模版的修理、无掩模注入以及离子束曝光等等。本文就这类装置,特别是用于离子束曝光等要求在较大扫描范围内得到足够小束斑的系统进行探讨。