划片刀配方对砷化镓晶圆切割崩裂的影响

利用试验设计方法(design of experiment, DOE),以不同配方的划片刀划切砷化镓晶圆,并检测其正、背、侧面的崩裂尺寸,找出划片刀配方对砷化镓晶圆切割崩裂尺寸的影响规律。研究表明:划片刀的磨料粒度与砷化镓晶圆切割质量密切相关,即磨料粒度越细,正、背、侧面崩裂尺寸越小;而磨料浓度和结合剂强度与砷化镓晶圆正、背、侧面的切割质量相关性并不显著。可通过缩小磨粒尺寸的方式提高划切质量,并视情况调整磨料浓度和结合剂强度。      

金刚石薄锯片高速锯切花岗石过程中的锯切力特性

本文对金刚石薄锯片高速锯切花岗石过程中的锯切力特性进行试验研究,在较宽的参数范围下,通过测量水平力、垂直力和主轴功率来计算切向力和法向力.对锯切力、力比、单颗金刚石承受的平均载荷进行了分析.结果显示,提高锯片的线速度使锯切力、力比和单颗金刚石磨粒承受平均载荷减小;在高速锯切时,锯切力随着锯切深度和进给速度的增加而增加,而进给速度对锯切力的明显影响要小于锯切深度,应选择小切深大进给的工艺参数组合;锯切力比随锯切深度的增加而增加,随进给速度的增加而减小;单颗金刚石磨粒承受平均载荷随着单颗粒金刚石最大未变形切削厚度的增大而线性增大.     

镀镍溶液中硼酸含量分析方法对比

试验对比了2种常用镀镍溶液中硼酸含量分析方法的准确度、精密度和检测效率。结果表明:分离测定法和快速测定法2种方法的准确度和精密度均可满足生产检测要求，前者的检测结果的准确度和精密度优于后者，后者的检测效率高于前者。      

对甲苯磺酸钠对氨基磺酸镍镀层性能的影响

通过对镀层应力,硬度及镀层形貌分析,研究了对甲苯磺酸钠作为添加剂对氨基磺酸镍镀层性能的影响规律。结果发现当镀液中不含添加剂时,镀层应力表现为拉应力,随着对甲苯磺酸钠添加量的增加,镀层内应力先表现为压应力,又逐渐变为拉应力。镀镍层的硬度也随着对甲苯磺酸钠添加剂含量的增多而增大,并且镀层表面结晶趋于细腻平滑。     

电沉积超薄金刚石切割刀片背面结瘤缺陷的形成机理

用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和能谱仪(EDS)对切割刀片背面结瘤的形貌、电沉积前铝合金基体处理过程中的表面形貌及成分演变等进行观察和分析,得出刀片背面结瘤缺陷的形成机理。结果表明:铝合金基体前处理过程中,其表面析出物周围的铝合金逐渐溶解,析出物脱落,2次浸锌后的铝基体表面留下0～6 μm的孔洞;镍-金刚石复合电沉积过程中的镍在孔洞处沉积,去除部分铝合金基体后,在刀片背面形成0～6 μm的凸起,即镍瘤。