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以抛光状态的纯Al、纯Cu和不同粗糙度的不锈钢基作为基底材料,采用磁控共溅射工艺来制备Al-Cu-Fe薄膜.利用原子力显微镜、能谱仪和MTS纳米力学综合测试系统分析薄膜的表面形貌、元素含量、结合强度和摩擦系数.分析结果表明:不锈钢作为基底材料的薄膜与基体的结合强度最大,其次为纯铝和纯铜.纯铜基底薄膜的摩擦系数最大,达到0.17,其余两种薄膜的摩擦系数均低于0.03.而薄膜表面形貌与基底材料的原始形貌有直接的联系,基底原始粗糙度越细小;薄膜的表面组织也细小;基底原始粗糙度越大,薄膜表面形成的晶粒的团聚越明显.这说明基底材料对薄膜的形成有重要的影响. 相似文献
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