Ar^（＋）混合Fe－Dy多层膜的结构及性能SCIEI

用真空双源蒸镀法在Ｓｉ单晶衬底上制备了Ｆｅ，Ｄｙ原子数比为３：２的Ｆｅ─Ｄｙ成分调制多层膜．用ＡＥＳ、ＲＢＳ、Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）以及磁性测量分析了Ａｒ^（＋）混合前后Ｆｅ─Ｄｙ多层膜的相交．Ａｒ^（＋）离子注入能量１１０ｋｅＶ，剂量５×１０^（１５）─１×１０^（１７）／ｃｍ~２．结果表明，注入剂量为１×１０^（１７）／ｃｍ~２时，Ｆｅ，Ｄｙ完全混合，并且由晶态的Ｆｅ，Ｄｙ完全转变为Ｆｅ_（６０）Ｄｙ_（４０）（近似于该化学配比）的非晶态合金，随Ａｒ^（＋）注入量的增加，Ｆｅ一Ｄｙ多层膜的Ｍ_ｓ下降，在剂量５０×１０^（１５）／ｃｍ~２时下降幅度最大。     

Ge/GaAs中APD及薄膜性能研究

研究了一种光纤通讯用光电探测器。在ＧａＡｓ上蒸镀８００ｎｍ的Ｇｅ,并在此材料基础上提出了一种吸收倍增分离的雪崩二极管（ＳＡＭ－ＡＰＤ）的结构设计,采用ＧａＡｓ作为倍增区,Ｇｅ作为吸收区。在此结构上初步制作的二极管正向开启电压为０．２￣０．３Ｖ,反向击穿电压为２．５Ｖ,漏电不明显,ｐ－ｎ结特性良好。     

离子注入白光退火特性

本文研究了离子注入后碘钨灯的退火效果;测量了离子注入和瞬态退火样品的电阻率、迁移率、电激活率和注入层电阻率的均匀性;用背散射和扩展电阻仪得到As浓度和载流子浓度分布;获得了制备浅结的工艺条件。用超高压电镜分析了注入层的剩余缺陷。同热退火比较表明白光退火技术更适于超大规模集成电路的微细加工工艺的要求。     

石墨中微量硼和铍的光谱定量分析

文献上报导的测定石墨中微量硼的光谱分析方法主要有下列几种:加顿(Garton)和中岛笃之助分别采用在高温下压制成球丸和棒形的样品进行直流电弧激发;斯卡尔史卡(Skal-ska)将样品与氢氧化钙混合,以碳酸锂作载体,在高温下灰化,然后在交流电弧中激发;费尔德曼(Feldman)创直接将样品装入石墨电极中,在含76%氩和24%氧的混合气体中进行直流电弧激发。戈莱布(Goleb)曾对石墨中硼、铍等27个元素进行过光谱测定。他用1.8%的氟化钠作     

STRUCTURE AND PROPERTIES OF Fe-Dy MULTILAYER IMPLANTED WITH Ar~(+)

用真空双源蒸镀法在Ｓｉ单晶衬底上制备了Ｆｅ，Ｄｙ原子数比为３：２的Ｆｅ─Ｄｙ成分调制多层膜．用ＡＥＳ、ＲＢＳ、Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）以及磁性测量分析了Ａｒ~（＋）混合前后Ｆｅ─Ｄｙ多层膜的相交．Ａｒ~（＋）离子注入能量１１０ｋｅＶ，剂量５×１０~（１５）─１×１０~（１７）／ｃｍ~２．结果表明，注入剂量为１×１０~（１７）／ｃｍ~２时，Ｆｅ，Ｄｙ完全混合，并且由晶态的Ｆｅ，Ｄｙ完全转变为Ｆｅ_（６０）Ｄｙ_（４０）（近似于该化学配比）的非晶态合金，随Ａｒ~（＋）注入量的增加，Ｆｅ一Ｄｙ多层膜的Ｍ_ｓ下降，在剂量５０×１０~（１５）／ｃｍ~２时下降幅度最大。     

磷砷化镓离子注入层的CW CO_2激光退火研究

本文对N、Zn离子注入GaAs_(1-x)Px材料之后,用连续CO_2激光束进行退火作了研究.晶格恢复、注入杂质的激活率和光致发光的实验测量结果表明,CO_2激光退火的效果优于常规热退火.本文对CO_2激光退火效果优于热退火的原因作了初步的解释.     

直读光谱仪的研制

本文介绍的直读光谱仪,是为分析微量元素研制的。测量系统采用先放大后积分的线路结构,时钟电路,元素选择系统和程序控制电路由数字逻辑组件、晶体管组成,动作准确可靠,使用寿命长。测量系统的测量精密度优于0.3％;可以同时分析十一个元素,结果由打印机直接印出,实现了光谱分析的自动记录,提高了工作效率;溶液干渣法分析灵敏度为10~(-7) g/ml(其中Cu、Mn为10~(-8)g/ml);方法回收率为80％—121％;分析精密度优于士30％。本直读光谱仪采用局部恒温装置。其温度可在20℃—30℃范围内调节,温度平衡时间为二小时,控温精密度优于±0.5℃。近年来,我国也已广泛地采用直读光谱仪作炉前分析,有的已配上小型计算机进行数据处理,控制生产。但在微量元素分析方面工作做的较少。为在老设备上挖潜革新,为四个现代化建设服务,我们研制成分析微量元素的直读光谱仪。     

测光自动记录装置

本文介绍了在ZeissⅠ型测微光度计的基础上进行改装的测光自动记录装置。原有的光电池及检流计改用光电倍增管进行光电转换,再经对数放大后接数字电压表及数字打印机,实现了测量结果的自动记录。     

Ar~（＋）混合Fe－Dy多层膜的结构及性能

用真空双源蒸镀法在Ｓｉ单晶衬底上制备了Ｆｅ，Ｄｙ原子数比为３：２的Ｆｅ─Ｄｙ成分调制多层膜．用ＡＥＳ、ＲＢＳ、Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）以及磁性测量分析了Ａｒ~（＋）混合前后Ｆｅ─Ｄｙ多层膜的相交．Ａｒ~（＋）离子注入能量１１０ｋｅＶ，剂量５×１０~（１５）─１×１０~（１７）／ｃｍ~２．结果表明，注入剂量为１×１０~（１７）／ｃｍ~２时，Ｆｅ，Ｄｙ完全混合，并且由晶态的Ｆｅ，Ｄｙ完全转变为Ｆｅ_（６０）Ｄｙ_（４０）（近似于该化学配比）的非晶态合金，随Ａｒ~（＋）注入量的增加，Ｆｅ一Ｄｙ多层膜的Ｍ_ｓ下降，在剂量５０×１０~（１５）／ｃｍ~２时下降幅度最大。