新型工艺制备ZnO薄膜的结构与形貌研究

采用了一种新型工艺制备ZnO薄膜。新工艺采用二步法,首先在N型Si(100)衬底上用离子束沉积溅射一层金属Zn膜,然后通过热氧化金属Zn膜制备ZnO薄膜。通过X射线衍射、原子力显微镜对不同制备工艺下的ZnO薄膜进行结构与形貌的分析比较。研究表明,Zn膜的离子束溅射沉积时间、热氧化时间和辅助枪的离子束对热氧化后的ZnO薄膜再轰击处理对ZnO薄膜的结构与形貌都会产生影响。     

离子束溅射与射频溅射制备的ZnO薄膜的特性分析

分别采用两种不同的方法制备了ZnO薄膜.①离子束溅射法(IBD),在Si(001)衬底上制备锌膜后在氧气氛炉中退火;②射频溅射法(RF),在Si(001)衬底上制备ZnO薄膜后在氧气氛炉中退火.利用X射线衍射仪和原子力显微镜(AFM)以及电感、电容、电阻综合测试仪(LCR)对两种方法制备的ZnO薄膜的结构、形貌和导电性进行了比较研究.结果表明,离子束溅射的锌膜经热氧化后得到的ZnO薄膜生长的单向性较差,表面粗糙度较大,薄膜的电阻率也比较高.     

优质WC用氧化钨的质量控制

对比分析了A、B这2家公司的原料APT和A、B、C这3家公司的WC粉末,分析项目包括粒度、松装密度、筛分、外观、杂质元素、晶型晶貌等,发现较好的原料APT形貌规则,粒度分布均匀集中;优质的WC粉末松装密度高,粒度分布较集中。综述了钨的氧化钨(黄钨、蓝钨、紫钨)制备的工业工艺参数以及相应控制指标。钨的氧化钨关键指标应该包含粒度及其分布、松装密度、化学成分与相成分、氧指数及烧损(NH₃、H₂O)量等。     

陕北地区镁产业发展现状及对策

陕北地区的镁产业迅速兴起,形成独具特色的产业链模式。但缺乏规划、污染严重等弊端也制约了行业的进一步健康发展。在总结该地区镁产业发展现状的基础上,从节能减排、整合产业的角度出发提出了针对性的建议。     

抑制剂在硬质合金中的应用及研究现状

阐述了常见晶粒长大抑制剂的种类、添加方式、添加量以及作用机理,并介绍了不同抑制剂对硬质合金物理及机械性能的影响。在综合大量研究成果的基础上,指出了目前在该研究领域存在的一些问题,如研究方法、实验条件、抑制剂添加种类及添加量等不统一所导致的实验结果的差异性。     

包覆法制备超粗及特粗晶硬质合金研究进展

本文就国内外关于包覆法制备超粗及特粗晶硬质合金的研究近况进行概述,分别介绍溶胶凝胶、液相还原、流化床气相沉积FBCVD与化学镀联用技术、水热合成氢还原、共沉淀还原等几种化学包覆法和物理镀膜包覆法的工艺特征,以及包覆法在制备超粗、特粗晶硬质合金方面的技术进展。与球磨法对比,简要分析包覆法在制备超粗、特粗晶硬质合金方面的技术优势,同时初步分析包覆法要实现工业化、批量化制备超粗及特粗晶硬质合金将面临的问题和挑战,展望了包覆法在制备超粗及特粗晶硬质合金的独特优势及良好前景。     

类金刚石薄膜的制备及其电阻率、光谱特性研究

采用射频磁控溅射法在单晶硅表面制备了类金刚石薄膜;对薄膜的电阻率进行了测量,研究了薄膜的溅射工艺参数,采用拉曼光谱、原子力显微镜、扫描电镜分析了薄膜的结构、表面形貌以及薄膜的截面形貌.结果表明,薄膜中含有sp2、sp3杂化碳原子,拉曼谱高斯拟合峰的ID/IG为3.67;薄膜的电阻率达6×103 Ωcm.最佳溅射气压在0.4 Pa左右,最佳溅射功率在140 W左右;薄膜的表面平整光滑,平均粗糙度低达0.17 nm;SEM形貌表明薄膜由大量大小均匀的碳颗粒组成,薄膜内部十分致密,与基底结合很好.     

高速推力轴承的几个问题

阐述了冷却方式在高速推力轴承运行中的地位。介绍了镜板泵外循环的结构特点及产生搅拌损耗的原因。     

射频与直流磁控溅射制备DLC薄膜的工艺研究及特性对比

采用直流与射频磁控溅射技术,用高纯石墨在单晶硅(100)表面制备了类金刚石薄膜(DLC).采用拉曼光谱、扫描电镜分析了薄膜的结构、表面和截面形貌,以及与溅射工艺的关系,并且对溅射过程中粒子输运机理进行了解释.结果表明,2种溅射方法制备的薄膜均含有相当的sp3杂化碳原子.射频磁控溅射沉积的DLC薄膜所含sp3杂化碳原子的量要高于直流磁控溅射沉积的DLC薄膜,且薄膜质量优于直流磁控溅射沉积的DLC薄膜.     

不同粒度WC配比对粗晶硬质合金显微组织和性能的影响

分别采用单一WC粉球磨和采用两种粒度不同WC粉混合球磨的制备工艺制取3批相同配碳量、WC平均晶粒度相近的WC-6%Co粗晶硬质合金,通过分析合金WC晶粒的粒度分布,以及合金的矫顽磁力(H_c)和断裂韧性(K_IC),研究不同制备工艺对合金WC晶粒的粒度分布、矫顽磁力、断裂韧性的影响。结果表明：不同制备工艺对合金的WC晶粒的粒度分布、钴相分散均匀性及断裂韧性有明显的影响。WC平均晶粒度相近时,采用两种WC粉末混合球磨工艺与采用一种WC粉末球磨工艺制取的合金相比,WC晶粒的粒径离差系数分别降低8.9%、15.6%,WC晶粒分布更均匀,合金矫顽磁力提高0.2、0.4 kA/m,合金韧性提升2.5%、10.8%。