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背面引线的新型集成pH-ISFET传感器的研制丁辛芳,牛蒙年,俞海明,丁耘(东南大学微电子中心)0引言pH-ISFET同传统的离子选择电极相比更具吸引力[1~5],因为ISFET适于硅工艺大批量生产,降低了单个器件的成本及器件性能的不均匀性;用半导体...  相似文献   
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