学会系统思考 掌握科学工作方法

学会系统思考掌握科学工作方法丁衡高中国工程院院士所在单位：国防科工委从事专业：惯性技术、精密机械作为工程师，应通过自己承担项目或课题的实践，学会科学的工作方法，在实践中不断成长。我个人认为，工作中至少要注意把握以下三个基本方面：１．对所用的基本原理一...     

抓住机遇，促进微米纳米技术新发展

微米纳米技术对其它学科和技术具有带动性和创新性，被认为是面向21世纪的新兴技术乃至主导技术之一，它们对国民经济和国家安全的重要作用已被人们广泛认同和重视。这里我想与大家一起来探讨一下微米绅米技术之间相互融合、相互促进的问题，并简要谈一谈相应的工作方法。需要说明的是，微米纳米技术发展很快，这里谈的是个人在学习和工作中的一些思考和体会，水平有限，仅供同志们参考。     

一种微型隧道效应磁强计的设计

隧道效应传感器是一种灵敏度很高的位移传感器,其原理已经被用于微加速度计和红外传感器的设计。文中介绍了基于这一原理的微型磁强计,对传感器的固有频率和驱动电压进行了分析和计算。     

微米纳米科学技术发展及产业化启示

近年来,微米纳米科学技术发展迅速,在产业化方面已经取得了不少进展．本文从发展现状和趋势上,结合我国具体情况,阐述了以下观点：开展创新工艺和设计方法研究,提高微机电（加EMs）应用和产业化能力;开展基础研究,提高MEMS器件和系统的水平;加强微米／纳米科学技术成果的结合．最后对今后研究工作提出了建议．     

微机电系统技术的实际应用--微型仪器

1 微机电系统 一般说来,微机电系统(micro electronic mechanical system,MEMS)是指可以用微电子等批量加工工艺制造的集微机械与微电子等部件于一体的部件或结构,它可以分成多个独立的功能单元,输入的物理或化学信号由传感器转换为电信号,经过信号处理后,通过执行器与外界作用.我们习惯上把含有光学部件的装置也包括在MEMS内.这些部件结构单独或集成在一起, 可以在微观层次感受、控制和作动物体,并产生类似宏观的作用效果.     

工艺与新技术革命

由国防工业出版社编辑出版的《工艺与新技术革命》一书已与读者见面,中央军委副主席刘华清为该书题写了书名,国防科工委主任丁衡高写了序言。该书的编辑出版对我国电子行业当前正在开展的“工艺突破口”工作,提高工艺意识,加强工艺技术的开发将起巨大推动作用。经领导研究决定,我刊现将国防科工委主任丁衡高同志写的序言全文刊载,以飨读者。     

在第六届全国微米纳米技术学术大会开幕式上的讲话

各位代表,各位来宾: 早上好. 首先,我代表第六届全国微米纳米技术学术大会的学术委员会向来自全国各地的从事微米纳米技术的专家、学者以及会议特邀的海外来宾表示热烈欢迎,也向本届大会的组织和承办单位--中国微米纳米技术学会(筹备组)、北京大学微电子所、中国电子科技集团公司第十三研究所及华北工学院表示衷心感谢,正是由于他们辛勤的工作,我们今天才得以相聚在晋祠这个风景秀丽、充满历史文化氛围的地方,一起来交流、思考和探索微米纳米技术的新发展.     

微纳技术进展、趋势与建议

1 产业发展趋势 近年来，MEMS产业发展迅速．据著名的国际MEMS咨询机构约尔公司（Yole）分析，2005年全球基于硅和石英器件的MEMS市场高达50亿美元，预计2010年将达到100亿美元（如图1所示）．其产品主要包括：喷墨打印头、光MEMS（主要是数字微镜器件）、压力传感器、惯性传感器、微流控器件、RFMEMS、硅麦克风及微型燃料电池．其中硅麦克风和微型燃料电池为新出现的产品（如图2所示）．