固结磨料加工硅片的技术进展

随着集成电路(IC)制造技术的飞速发展,为了进一步增加IC芯片的产量和降低单元制造成本,硅片趋向大直径化.高质量、大尺寸硅片的制造对超精密加工技术提出了更加严峻的挑战.简要地介绍了传统的及目前流行的硅片加工工艺,讨论了在线电解修整(ELID)辅助磨抛硅片技术;最后,针对固结磨具中存在的超细磨料团聚问题,介绍了几种新型的磨抛盘制备技术.     

金刚石薄锯片切割石材中力和功率变化过程研究

文章研究金刚石薄锯片切割花岗岩过程中的力和功率变化特征.通过测量主轴功率、垂直与水平锯切力,分析了功率和锯切力随锯切面积的变化,计算了单颗磨粒法向力.并就金刚石薄锯片的耐磨性与常规锯片进行了比较.结果表明,功率和锯切力的变化与常规锯片切割相似,并未出现异常振动.单颗磨粒承受载荷与常规锯片切割也无显著增加.     

金刚石节块与花岗石界面锯切温度的测量与分析

通过实验研究了干锯切花岗石过程中金刚石节块—花岗石接触界面的温度特性 ,并用康铜—纯铁薄膜热电偶在线测量了磨削弧区的温度响应。将实验结果与理论计算结果进行拟合 ,得到了热量传入花岗石的比例。实验结果表明 ,测得温度与三角形热源模型的计算结果吻合良好 ,薄膜热电偶完全可满足锯切实验条件对时间响应的要求 ,干锯切花岗石过程中传入金刚石工具的热量占总热量的 90 %以上     

仿真技术及其在磨削加工中的应用

本文介绍了建模与仿真的基本概念，着重阐述了仿真技术在磨削加工中的应用，并展望了仿真技术的发展趋势。     

蓝宝石不同晶面轴向超声振动辅助磨削特性研究

选取蓝宝石的A面、C面、M面及R面开展轴向超声振动辅助磨削试验,并从磨削力、比磨削能、表面粗糙度及表面形貌等角度对比蓝宝石四个晶面超声振动辅助磨削效果的差异。施加超声振动辅助磨削时,蓝宝石四个晶面的磨削力、比磨削能及表面粗糙度相对未施加超声振动时均有所减小,且工件表面损伤裂纹较小,表面质量更好;蓝宝石不同晶面在施加超声振动时的磨削力、比磨削能和表面粗糙度的减小比例不同,C面的减小比例最小,M面和A面的减小比例较大,R面的减小比例最大;超声振动辅助磨削蓝宝石四个晶面时,R面的改善效果最好,其次是M面和A面,C面的改善效果较差,这反映工件材料的脆性越大,超声辅助磨削对加工质量的改善效果越明显。     

镀膜金刚石在不同金属结合剂中的表现

制备8种不同的金属结合剂金刚石工具材料,研究表面镀膜的金刚石在不同结合剂中的表现.通过三点弯曲试验评价金刚石表面镀膜对抗弯强度的贡献,并借助扫描电子显微镜(Scanning electron microscope,SEM)和能谱分析仪(Energy dispersive spectrometer,EDS)分析,揭示金刚石与结合剂界面作用机制.通过锯切花岗石并在线测量锯切力和功率,研究金刚石表面镀膜对其耐磨性的影响.研究表明,镀膜对增强结合剂把持金刚石能力的贡献是肯定的,但是结合剂各金属组分间的结合对抗弯强度的影响大于结合剂与金刚石间的结合对抗弯强度的影响,因此对于不同的结合剂系统,金刚石节块的耐磨性能与其抗弯强度之间没有明确的对应关系.结合剂中的稀土添加剂以及基础结合剂中的主要成分直接影响镀膜金刚石的表现.     

固结磨料加工硅片的技术进展

随着集成电路(IC)制造技术的飞速发展，为了进一步增加IC芯片的产量和降低单元制造成本，硅片趋向大直径化。高质量、大尺寸硅片的制造对超精密加工技术提出了更加严峻的挑战。简要地介绍了传统的及目前流行的硅片加工工艺，讨论了在线电解修整(ELID)辅助磨抛硅片技术；最后，针对团结磨具中存在的超细磨料团聚问题，介绍了几种新型的磨抛盘制备技术。     

金刚石砂轮平面磨削花岗石的实验研究

研究了花岗石的金刚石砂轮平面磨削.通过在线测量水平和垂直磨削力,研究了金刚石砂轮平面磨削加工两种天然石材过程中的法向力和切向力变化特征.建立了单颗磨粒承受平均切向和法向负荷与单颗磨粒最大切削厚度之间的对应关系.结合扫描电镜观察结果,探讨了两种花岗石的去除机理.     

稀土对金属基金刚石节块力学性能的影响

金属基金刚石工具结合剂中添加少量稀土元素可以细化胎体晶粒,净化金刚石与胎体界面,从而改善结合剂与金刚石的界面结合状态。本研究通过在不同类别金刚石节块中添加或不添加稀土元素,观察其力学性能的变化,并进行比较分析,探讨稀土元素对不同类别金刚石节块力学性能的影响机制。实验结果表明稀土元素对不同类别金刚石节块抗弯强度的影响较为显著,同时,在铜基中加入稀土元素,可以加强金刚石与周围胎体的结合状况,提高胎体对金刚石的把持力。研究成果将有利于促进和推广稀土在金刚石工具制造领域中的应用。     

金刚石砂轮平面磨削花岗石的实验研究

研究了花岗石的金刚石砂轮平面磨削。通过在线测量水平和垂直磨削力，研究了金刚石砂轮平面磨削加工两种天然石材过程中的法向力和切向力变化特征。建立了单颗磨粒承受平均切向和法向负荷与单颗磨粒最大切削厚度之间的对应关系。结合扫描电镜观察结果，探讨了两种花岗石的去除机理。