用于白癜风治疗的308nm XeCl准分子激光系统

研制了一台用于白癜风治疗的308nm XeCl准分子激光系统。根据准分子激光器脉冲式放电的特点,设计了推挽式脉冲开关电源。实验研究了激光器脉冲重复频率、工作电压、气体寿命对激光输出能量的影响,并检测了激光输出脉冲能量的稳定性。通过自动反馈控制系统调整激光头放电工作电压实现输出激光能量的稳定。激光采用扩展型紫外液芯光纤传导,得到均匀性良好的治疗光斑,液芯光纤对308nm激光的传输效率约为70%。激光器脉冲重复频率1～200Hz,工作电压18～25kV,输出能量不稳定度小于4%。经光纤输出用于治疗的有效光斑直径22mm,脉冲能量密度2～3mJ/cm2。     

20W级高稳定度高效率XeCl准分子激光器的研究

报道了一台中功率高稳定度高效率实用型XeOl准分子激光器及其工作特性.最大单脉冲能量为405mJ,最大平均功率达到3lW.不同电压下的转换效率均大于1.4%,最高达1.8%.在工作电压为22kV左右时进行10~6次寿命试验,其输出功率保持15W,波动性小于±7%.     

10W级高重复率实用型XeCl准分子激光器的研究

本文报导了一种实用型准分子激光器及其实验结果。该器件采用了闸流管开关、气体横向循环系统、C-C能量转移快放电回路以及具有自动预电离的紧凑的腔体结构,同时还采用了高反射率高破坏阈值光学膜片,装备了气体净化处理器和镜片防污保护系统。该器件单脉冲能量为260mJ以上,最大平均功率超过20W,最高重复率为130次/秒,一次充气工作寿命远远超过10~6次。     

可调变预电离小型XeCl准分子激光器的特性研究

采用预电离与主放电同轴的新型结构具有预电离均匀、效率高、光斑质量好、工作电压低等许多优点。在激光器预电离室内安装一对可调变狭缝,实现了预电离体积的可调变。给出了缝宽在1～8mm之间时输出能量的变化,而且放电同样均匀、稳定。表明了该激光器预电离强而均匀,在缝宽最小时仍能维持主放电均匀点火。同时,我们分别对Ne、Ar、Ar+He等不同缓冲气体在不同气压、不同电压下对输出的影响作了进一步实验和分析。结果是,Ne作     

近期光刻用ArF准分子激光技术发展

193 nm ArF准分子激光光刻技术已广泛应用于90 nm以下节点半导体量产。ArF浸没式也已进入45 nm节点量产阶段。双图形光刻（DPL）技术被业界认为是下一代光刻32 nm节点最具竞争力的技术。利用双图形技术达到32 nm及以下节点已经被诸多设备制造商写入自己的技术发展线路。Cymer公司和Gigaphoton公司为双图形光刻开发了高输出功率、高能量稳定性和具有稳定的窄谱线宽度ArF准分子光源。分析了近期发展用于改进准分子激光性能的关键技术：主振-功率再生放大(MOPRA)结构、主振-功率振荡(MOPO)结构,主动光谱带宽稳定技术,先进的气体管理技术。对光刻用准分子激光光源技术发展趋势进行了简要的讨论。     

磁脉冲开关在准分子激光器中的应用

本文介绍了用于准分子激光器中的磁脉冲压缩开关的原理和结构，分析了磁脉冲压缩开关在激光器激励电路中的工作过程，并且给出了实验结果。实验表明，磁脉冲庄缩开关有效地压缩电流脉冲宽度，对激励电路中的闸流管起到保护作用。     

大功率准分子激光器控制系统研制

本文设计了一个智能化的激光器控制系统，它可以完成对准分子激光器正常工作时的技术参数的测量．该装置具有使用方便、成本低、误差小等特点，经过实际使用验证，工作稳定可靠，具有较好的实用价值．     

灯泵钛宝石激光器高压开关电源

介绍了一台重复率运转的灯泵掺钛宝石激光器的开关电源。其中包括高压开关电路和双预燃电路。电源输出功率达２ｋＷ，重复率为５Ｈｚ。     

实用型准分子激光器光束质量的改善

改善准分子激光品质的两个重要方面是:压缩发散角和提高光束均匀性。由于正支共焦非稳腔具有结构紧凑,设计简单的优点,可以使发散角减小一     

准分子激光放电回路的研究

对高压放电泵浦的准分子激光放电回路进行了探讨。运用等效电路方法，给出了准分子激光工作气体在击穿放电前后的电路变化规律，同时分析了能量转移效率与回路参数之间的关系，这为设计高效率和稳定可靠的准分子放电回路提供了理论上的参考依据。