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作为碲锌镉衬底表面加工的重要工序,化学机械抛光(Chemical Mechanical Polishing, CMP)的加工效果决定了碲锌镉衬底的表面质量和生产效率。抛光液是CMP的关键影响因素之一,直接影响衬底抛光后的表面质量。对碲锌镉衬底CMP工艺使用的抛光液进行了研究,探究了以二氧化硅溶胶和过氧化氢为主体的抛光液体系在不同pH值、不同磨料浓度下对衬底抛光表面质量和去除速率的影响。结果表明,使用改进后的抛光液体系对碲锌镉衬底进行CMP,能够在获得超光滑表面的同时实现高效率加工,为批量化制备高表面质量的碲锌镉衬底奠定了良好基础。 相似文献
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本文对不同梯度区高度的VGF法温场生长碲锌镉(CdZnTe)晶体过程进行了稳态和非稳态仿真模拟分析。研究发现,晶体生长等径初期界面凸度随着梯度区高度的增加而减小;等径末期界面凸度受梯度区高度的影响不大;界面的凸度与固液界面温度梯度变化率正相关。非稳态模拟结果显示,现有变温条件下,晶体生长过程中固液界面凸度存在先增大后减小的趋势,趋势转变点接近梯度区高度中点;界面形状的变化趋势受固液界面上生长速度分布直接影响;对比而言,10 cm高的梯度区更容易实现前中期固液界面凸界面的获得,利于形成高单晶率CdZnTe晶体。 相似文献
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侯晓敏 《河南水利与南水北调》2008,(9)
泥浆在凿井施工中具有固壁、携砂、冷却、润滑、堵漏等作用。本文指出了配制泥浆时需要注意的事项,并详细说明了泥浆主要性能指标的测定及调整方法。 相似文献
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为了探究不同浓度腐植酸叶面肥对谷子农艺性状、光合指标及品质的影响,并明确最佳浓度,以黑龙江主栽谷子品种“嫩选18”为试验材料,采用随机设计,设置6个腐植酸叶面肥浓度处理(0、200、400、600、800、1000倍液),在拔节期和开花期进行叶面喷施处理,研究农艺性状、产量构成因素、光合指标及品质指标对不同浓度腐植酸叶面肥的响应。结果表明:喷施腐植酸叶面肥可不同程度增加谷子株高、穗长、茎粗;增加穗重、穗粒重;提高净光合速率、蒸腾速率,降低胞间CO2浓度,提高籽粒中粗蛋白、粗淀粉含量等,从而改善谷子品质,提高谷子产量,与CK比,不同处理增产幅度为1.0%~7.8%,其中腐植酸叶面肥600倍增产效果最好。 相似文献
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介绍了一种新型自重构机器人系统,研究了基于旋量理论的自重构机器人正、逆运动学算法。在分析M2SBot机器人模块拓扑结构的基础上,建立描述自重构机器人拓扑构型的三元组矩阵;利用拓扑结构信息和模块坐标系间的齐次变换,获得各个模块的运动旋量并自动生成自重构机器人正运动学方程。采用遗传算法求运动学的逆解,在传统遗传算法的基础上提出了"移民"策略和局部优化的改进方案。最后,以双支链构型为例,给出了正运动学方程自动生成的具体步骤,并在MATLAB平台上进行逆运动学仿真,验证了改进遗传算法的有效性。 相似文献