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该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 相似文献
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近几年来,由于在结晶岩内发现了大量油气储量又再度引起了“生物”与“非生物”油气成因说派之间的争议。 相似文献
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我厂现有3台GGAJ02GK型10m2电除尘器,主要用在生料磨、粘土及矿渣烘干等场所,其工作状态是否正常,直接影响厂区及周围大气环境质量。1电除尘器常见故障的诊断电除尘器许多故障在监测表计上会有明显反映,掌握其变化规律对迅速判断故障范围会起到事半功倍的效果。本文中U1、I1表示升压变压器一次电压和电流,U2、I2表示二次直流高压和电流。1.1U1、I1、U2、I2均为零主接触器不动作,多为总电源失电;控制电源回路开路或主接触器线圈烧毁等,按常规检修方法即可解决。主接触器动作,应重点检查GK控制板工作电源是… 相似文献
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国有企业领导者一个重要的任务就是要养成学习和思考的良好习惯, 善于用变革的观念重塑自我,善于用信息技术提升自己的水平能力,并带领企业完成学习型组织的构建。 相似文献
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