一种用于高机械可靠性RF MEMS开关制备的新型工艺

为提高介质桥串联接触式MEMS开关的工作寿命,本文改进了常规制备工艺,提出一种侧向钻蚀刻蚀介质桥膜下金属的方法,以获得平坦的介质桥膜,制备得到高机械可靠性的开关。与常规工艺相比,新工艺避免了应力集中问题,成品率从10％提高到了95％,工作寿命从1000次提高到了2500万次。在23.3V的驱动电压下,开关插入损耗 0.55dB＠DC-10GHz,隔离度 53.2dB＠DC-10GHz。