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溶胶—凝胶法制备薄膜湿敏元件的研究 总被引:2,自引:1,他引:1
用溶胶-凝胶法制备了R2O-Al2O3-SiO2系(R=Li,Na,K)薄膜湿敏元件,研究了它们的感湿特性,对薄膜的结构、导电机理进行了讨论,获得的湿敏元件具有响应快、滞后小和灵敏度等优点。 相似文献
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