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在进行理论分析证实可行性和模拟仿真优化参数后,利用非硅表面微加工方法中的牺牲层工艺制备了一种扭梁悬臂梁支撑的扭摆式MEMS永磁双稳态机构.该双稳态结构尺寸为1.9mm×1.6mm×0.03mm,通过永磁力实现稳态姿态无功耗保持,通过对其单侧触点施加纵向驱动力使之达到30μm的纵向驱动位移,可以实现机构的双稳态姿态切换,可以通过控制永磁体磁片、悬臂梁和扭梁的尺寸来灵活调控稳态切换所需的驱动力矩.此双稳态机构可与电磁驱动、电热驱动和静电驱动等类型的微驱动器联用构成永磁双稳态MEMS微继电器. 相似文献
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本文介绍了采用2毫米电磁型微马达作为驱动器的移动微型机器人.其整体尺寸为10mm×6mm
×5mm.作为微型机器人的核心部件,微马达采用电磁型轴向磁通结构以获得较大的输出力
矩.该马达的设计创新还在于其控制上可以在不同的阶段采用同步电机和步进电机两种
控制方式.微型机器人的控制器通过超细直径的柔性导线与机械结构相连,创新的结构设计
使得机器人的转弯半径非常小,将导线连接的影响降至极小.通过算法可以控制该机器人前
进、后退、灵活转弯.本文详细论述了该微机器人的设计、制作、结构部件和性能. 相似文献
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扭梁悬臂梁支撑的扭摆式MEMS永磁双稳态机构 总被引:1,自引:0,他引:1
在进行理论分析证实可行性和模拟仿真优化参数后,利用非硅表面微加工方法中的牺牲层工艺制备了一种扭梁悬臂梁支撑的扭摆式MEMS永磁双稳态机构.该双稳态结构尺寸为1.9mm×1.6mm×0.03mm,通过永磁力实现稳态姿态无功耗保持,通过对其单侧触点施加纵向驱动力使之达到30μm的纵向驱动位移,可以实现机构的双稳态姿态切换,可以通过控制永磁体磁片、悬臂梁和扭梁的尺寸来灵活调控稳态切换所需的驱动力矩.此双稳态机构可与电磁驱动、电热驱动和静电驱动等类型的微驱动器联用构成永磁双稳态MEMS微继电器. 相似文献
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