电子枪电子光学系统高精度辅助设计计算方法

本文推荐一组强流电子束的自洽性方程,论述磁透镜的矩形有限元分析方法及静电场非均匀阶梯型网络差分方法并给出电位及电位梯度插值公式。本文指出调整发射系统,在空间电荷限制发射和温度限制发射的临界状态下工作的途径;说明漂移区轨迹方程和电场区运动方程的解法;介绍空间电荷及热初速度影响修正计算方法;最后给出CAD结果之一例。