全面贯彻“七一”讲话精神 努力开创学校工作新局面

江泽民同志在庆祝中国共产党成立80周年大会上的讲话是马克思主义的纲领性文献，是在新的历史条件下推进党的建设，夺取建设有中国特色社会主义事业新胜利的行动纲领。要以“讲话”深刻阐述的“三个代表”的重要思想武装我们的头脑，深化对办好高等学校的重要性的认识，发扬与俱进的创新精神，实践“三下代表”的要求，努力开创学校工作的新局面。     

面向半导体湿法制程的超洁净流控技术综述

湿法工艺作为半导体工艺的重要组成部分,通过化学品(酸、碱、溶剂等)与超纯水等液体介质,对晶圆表面进行刻蚀、清洗等处理,其制程需避免颗粒、金属、离子、细菌等污染物带来的工艺缺陷。为此,湿法工艺相关的化学品系统、超纯水系统与制程装备均需采用超洁净流控部件,但相关产品被国外垄断,我国对该技术领域的研究仍处起步阶段。该研究首先阐述了半导体湿法制程对超洁净流控部件的需求,剖析了该类部件的主要技术特征。进而,重点介绍了磁悬浮泵、波纹管泵、隔膜阀以及超声波流量传感器等超洁净流控部件的工作原理与发展历程,并分析了其关键技术与研究现状。最后,对超洁净流控技术的发展做出了展望。