触针式表面结构区域法软件系统的开发

在分析触针式表面结构区域法测量系统的基础上,介绍了其软件系统的功能设计、软件构架及软件实现等。并根据ISO/TC25178-7软件测量标准,通过与NIST-Internet based Surface Metrology Algorithm Testing System调用同一组SDF格式数据进行对比,验证了本软件的准确性。     

表面结构测量方法的分类

给出表面结构的定义并对其要素产生的原因及影响因素进行阐述，然后根据ISO／DIS25178．6，介绍表面结构测量方法的分类系统，定义3种分类方法：线轮廓法、区域形貌法和区域特征集成法，说明其相互关系，并对具体表面结构检测方法原理及表面结构测量方法的重要限制条件进行说明。