毛细作用驱动的MEMS流体自组装模拟仿真

介绍了毛细作用驱动的MEMS流体微器件自组装技术的研究和发展概况,并对组装中的自对准过程进行了模拟仿真。通过仿真模拟,证明即使在器件与衬底组装区域形状大小不同时,仍可能实现自对准。这说明自组装对组装器件和衬底粘合层的形状尺寸匹配精度的要求不苛刻。同一个衬底粘合层的版图将可能适用于具有不同尺寸粘合层的器件进行安装,反之拥有同样粘合层的器件则可能安装到不同的衬底中。这些结论有助于未来更合理地设计自组装系统。     

界面张力驱动的微粒自组装研究

界面张力驱动的液-液界面／液-固界面微粒自组装是一种新型的自组装方法，其主要原理是通过物理手段，使微粒在界面张力驱动作用下，聚集成二维有序结构。文中首先介绍了微粒自组装的基本原理和发展现状，而后对作者实现的亚毫米量级微粒自组装作了介绍，最后对实验结果进行了初步的理论分析。     

毛细作用驱动的MEMS流休自组装模拟仿真

介绍了毛细作用驱动的MEMS流体微器件自组装技术的研究和发展概况，并对组装中的自对准过程进行了模拟仿真。通过仿真模拟，证明即使在器件与衬底组装区域形状大小不同时，仍可能实现自对准。这说明自组装对组装器件和衬底粘合层的形状尺寸匹配精度的要求不苛刻。同一个衬底粘合层的版图将可能适用于具有不同尺寸粘合层的器件进行安装，反之拥有同样粘合层的器件则可能安装到不同的衬底中。这些结论有助于未来更合理地设计自组装系统。