一种新型键合工艺的理论和实验研究

为了实现在较低超净环境下的硅／硅直接键合,提出了在乙醇的环境中进行硅／硅键合的方法,并建立了合理的物理模型,在常温、常压和低于10万级超净环境下,用普通的国产硅片进行了无水乙醇环境下的硅／硅直接键合实验.键合后进行了拉力强度测试和SEM观测,发现界面没有孔洞,说明键合质量达到了要求.拉力测试结果表明,其键合强度达到了10MPa,初步验证了该方法的可行性.     

新型室温中远波段红外探测器的关键工艺研究

介绍了一种基于MEMS技术的新型室温中远红外波段硅基电容式红外探测器原理和制作工艺过程，并详细介绍了针对单面光刻机而采用的对准孔双面对准和键合对准技术、浓硼扩散FLPW腐蚀停止技术制备超薄敏感硅膜以及薄膜的疏水处理等关键工艺。还对各环节所遇到的问题和其相应的解决方法进行了详细地阐述。     

微机械气动红外探测器的计算机仿真

介绍了一种可工作于室温环境下的微型气动式红外探测器，它基于气体介质吸收特定波段的红外辐射后以无辐射气动方式激励并产生一系列热效应的物理基础，可获得包含红外辐射源信息的信号。建立了符合器件工作模式的有限元模型，采用流体-热-结构耦合方法分析了器件的机械行为以及气体介质的温度场分布，模拟并讨论了不同结构参数对器件性能的影响，为采用MEMS技术研制具有波长选择特性的非致冷气动式红外探测器提供了理论基础。     

新型室温微机械红外探测器原理与设计

利用红外吸收气体直接吸收红外辐射的原理,设计出一种新型室温红外探测器。当密闭腔 内气体吸收红外辐射后,腔内压强增大使弹性薄膜形变,由以弹性薄膜为可动极板的微电容结构的电容变化量,可测得红外辐射的大小。采用微机械技术制作的探测器,对8-14mm红外辐射有灵敏、快速的响应,灵敏度≥2×10-3 pF/mW。