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中频反应溅射SiO2膜与直流溅射ITO膜的在线联镀 总被引:2,自引:2,他引:0
多数ITO透明导电玻璃生产线在实现SiO2膜与ITO膜在线联镀时,应用SiO2靶射频溅射沉积SiO2膜工艺和ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺,如果SiO2膜应用硅靶反应磁控溅射工艺,存在这种工艺是否可以与ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺在线联用以及如何实现联用的问题。作者对现有的生产线进行了改造设计、加工,做了大量实验、质谱分析和多项测试研究,成功地实现反应溅射SiO2膜与ITO膜在线联镀,做到SiO2镀膜室的工作状态的变化基本上不影响ITO镀膜室的工艺条件。 相似文献
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研究了以3-氯-邻苯二甲酸酐为原料,经甲胺化、偶联、水解和脱水反应制备2,2,′3,3′-联苯四酸二酐(i-BPDA)的工艺过程,偶联反应以三苯基膦(PPh3)为配位体的镍络合物为催化剂、锌粉为还原剂、碘化钠为促进剂。采用红外光谱、氢核磁共振对i-BPDA及反应中间产物的结构进行了表征,并用高效液相色谱测定了i-BPDA的纯度。实验结果表明,中间产物N-甲基-3-氯-邻苯酰亚胺(C8H6NO2C l)偶联反应的收率受催化剂的种类、催化剂配比、反应时间和反应温度的影响,其中当催化剂中的镍化合物为无水N iC l2时,催化剂的活性最高;最佳偶联条件为:n(C8H6NO2C l)∶n(N iC l2)∶n(PPh3)∶n(Zn)=1∶1∶4∶1.1,反应时间5h,反应温度110℃。在此条件下,偶联产物的收率为69.0%。i-BPDA的平均纯度大于98%。 相似文献
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为应对高光谱成像侦察,设计了2种模拟植物叶片反射谱的光散射膜并分别命名为TiO2/Chl和TiO2/SCC仿生膜。两类膜的基体均为亲水的聚乙烯醇/氯化锂薄膜,散射微粒均为二氧化钛(TiO2),色素分别为叶绿素(Chl)和叶绿素铜钠盐(SCC)。采用分光光度计分别测量了样品和桂花树叶片的反射率及桂花树叶片色素提取液、Chl和SCC溶液的吸光度。结果表明,在430~2 500 nm内,TiO2具有强散射特性,增强了基体膜的反射辐射。在TiO2的散射作用下,由于Chl和SCC具有与植物叶片色素相似的吸收特性,且基体膜含水,仿生膜反射谱均呈现与绿色叶片反射谱相似的4个基本特征,即“绿峰”“红边”“近红外高原”和水吸收带。TiO2/Chl和TiO2/SCC仿生膜的反射谱与桂花树叶片的相关系数分别为0.90和0.95。 相似文献