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离子辅助沉积TiO2光学薄膜的特性 总被引:10,自引:4,他引:6
阐述了用离子辅助沉积(IAD)工艺制备氧化钛(TiO2)光学薄膜的光学、应力及微观特性,并讨论了其与离子辅助沉积成膜工艺参数之间的相互关系。 相似文献
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用IAD法制作的高密集型分波复合器滤光片的特性 总被引:1,自引:0,他引:1
随着高密集型分波复合器需要的不断增加,在光纤通讯领域中,光学薄膜滤光片已经成为了一个很关键的光学元件。在高密集分波复合器中,我们用IAD方法制作了低损失、高稳定性的超窄带滤光片并在本文加以讨论。在湿度环境试验中,这种高堆积密度的光学薄膜显示了没有任何波漂。在温度环境试验中,它的热稳定性为0.0012nm /℃。在使用Ta2O5/SiO2,用于100GHz的滤色片的场合下,窄带滤色片的插入损失为0.34dB。在使用Nb2O5/SiO2,用于200GH2 的滤色片的场合下,插入损失为0.17dB,两者都显示了极好的分光光谱特性,甚至半宽为0.66nm 的情况下,它们的截面SEM 微结构显示了非晶结构,平坦的表面与界面。 相似文献
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光学薄膜的堆积密度通常是利用薄膜在真空及大气中折射率的变化来计算,在IAD实验中,我们发现有些薄膜的堆积密度大于1.0,这意味着薄膜的密度比自然界中的材料密度还要密积,原因是薄膜具有较大的内压应力,我们还发现了薄膜的波漂不依从于堆积密度。这是因为它们在不同的蒸发条件下具有不同的密度均匀性,在用EB及不同条件的IAD的情况下,我们计算并分析了堆积密度及密度均匀系数,并用SEM 观察了薄膜的微结构。 相似文献
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利用光腔衰荡法测量反射率,探测器性能对衰荡信号的测量有很大影响,具有不同时间响应和灵敏度特性的探测器会得到不同的信号衰荡曲线起始点和信号淹没点.对于性能相同的探测器,在测量反射率不同的反射镜时,也会得到不同的信号淹没点.在数据拟合过程中,截取不同的数据起始点和信号淹没点,会得到不同的衰荡时间,从而影响反射率的测量精度.对衰荡信号进行对数变换,首次利用χ2拟合对数据进行处理,通过对有效拟合数据与斜率误差关系的分析,得到了最佳拟合数据点截取的方法.实验证明:此方法可有效处理无效光信号和噪声信号的分界点,给出了衰减时间的数据截取依据,有助于改善时间衰荡法测试的精度和重复性. 相似文献
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随着科技的发展,新仪器、新技术的使用,使电力工程测绘发生了巨大的变化,在显著提升效益的同时也引发了很多常见的问题.本文将对电力工程测绘工作主要存在问题进行分析,并提出相关的解决对策. 相似文献
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为提高Cuk变换器的性能,提出了一种基于Cuk变换器EL模型的无源控制方法。首先建立Cuk变换器的EL(Euler-Lagrange)模型,根据控制目标,确定Cuk变换器的期望平衡点,基于无源控制理论,采用阻尼注入方法设计Cuk变换器的无源控制器。仿真结果表明,Cuk变换器无源控制器可使Cuk变换器具有良好的动、静性能和对负载变化的鲁棒性。 相似文献
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光学薄膜的推积密度通常是利用薄膜在真空及大气中折射率的变化来计算,在IA保,我们发现有些薄膜的推积密度大于1.0,这意味着薄膜的密度比介中的材料密度还要密积,原因是薄膜具有较大的内压应力,我们还发现薄膜的波漂不依从于堆积密度。这是因为它们在不同的蒸发条件下具有不同的密度均匀性,在用EB及不同条件的IAD的情况下,我们计算并分析了堆积密度及密度均匀系数,并用SEM观察了薄膜的微结构。 相似文献
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随着高密集型分波复全器需要的不断增加,在光纤通讯领域中,光学薄膜滤光片已成为了一个很关键的光学元件。在高密集分波复合器中,我们用IAD方法制作了低损失、高稳定性的带滤光片并在本文加以讨论。在温度环境试验中,这种高堆必度的光学薄膜显示了没有任何波漂。在温度环境试验中,它的热稳定性为0.0012nm/℃。在a2O5/SiO2,用于100GHz的滤色片的场合下,窄带滤色片的插入 失为0.34dB。在使用 相似文献