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基于SOI的硅微谐振式压力传感器芯片制作 总被引:2,自引:0,他引:2
采用SOI硅片,基于MEMS技术,设计并加工了一种新型三明治结构的硅微谐振式压力传感器,根据传感器敏感单元的结构设计,制定了相应的制备工艺步骤,并且针对湿法深刻蚀过程中谐振子的刻蚀保护等问题,提出了一种基于氮化硅、氧化硅和氮化硅三层薄膜的保护工艺,实验表明,在采用三层薄膜保护工艺下进行湿法刻蚀10 h后,谐振子被完全释放,三层薄膜保护工艺对要求采用湿法刻蚀镂空释放可动结构具有较高的实用价值。最后对加工完成的谐振式压力传感器进行了初步的性能测试,结果表明,在标准大气压力下谐振子的固有频率为9.932 kHz,品质因数为34。 相似文献
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面向关中高新技术产业带的网络化制造 总被引:2,自引:1,他引:2
针对关中高新技术产业带的技术和制造资源优势,提出了适合区域经济特色的网络化制造整体解决方案和区域网络化制造系统的体系结构,明确了系统的组成与功能。采用虚拟专用网技术构建区域集成服务平台基础网络环境,提出了应用系统集成框架和平台基础服务功能配置。在对工业设计、具有快速响应机制的开放式制造、新产品快速开发、制造资源网络化优化配置、基于知识的产品创新设计、基于ASP的服务、集成应用服务平台等关键技术研究的基础上,提出了应用系统的实现方案。 相似文献
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Ni-Cr合金真空钎焊金刚石界面微结构分析 总被引:2,自引:0,他引:2
钎焊单层超硬磨料砂轮极高的结合强度和接近理想的锋利形貌 ,使它在生产应用中显示出传统砂轮无法比拟的优异性能。这种新型超硬磨料砂轮以其卓越的磨削性能必将逐步取代传统单层电镀砂轮。本文在真空炉中用钎焊的方法 ,用Ni Cr合金钎料 ,适当控制钎焊温度、保温时间和冷却速度 ,实现了金刚石与钢基体的高强度连接。并用深腐蚀的方法处理钎焊后的试样 ,用扫描电镜、X 射线能谱仪 ,结合X 射线衍射结构分析 ,对金刚石与钎料界面微区结构进行了分析。结果表明 :在钎焊过程中 ,钎料会在金刚石界面形成富铬层并与金刚石表面的C元素反应生成Cr7C3 和Cr3 C2 ,其中Cr7C3 呈笋状生长 ,Cr3 C2 呈片状生长。Ni Cr合金与金刚石的冶金结合 ,是实现金刚石和钢基体有高结合强度的主要因素。最后通过磨削对比实验确证了金刚石与钎料有较高的结合强度 相似文献
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驱动电流是热敏式剪应力微传感器的一个重要参数。增大驱动电流可以提高传感器的灵敏度,但传感器的安全工作温度又限制了驱动电流的增大。研究了如何基于驱动电流来最大程度地提高传感器灵敏度。从理论上分析了传感器灵敏度随剪应力输入的变化规律。通过静水中的I-V特性测试实验,确定了传感器在水下工作的最大允许驱动电流。通过电压—剪应力特性测试实验,验证了传感器灵敏度与驱动电流的关系,得到了传感器在最大允许驱动电流激励下的灵敏度。研究,发现最大允许驱动电流可以使传感器在剪应力为0.2Pa时的灵敏度达到23.8mV/Pa。 相似文献
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采用Ni-Cr合金钎料,适当控制钎焊工艺,实现了金刚石与钢基体的高强度连接。采用扫描电子显微镜(SEM)和能谱仪(EDS)及X射线衍射结构分析了真空加热条件下,Ni-Cr合金钎料与金刚石之间的界面反应,探讨了钎料与金刚石界面处碳化物的形成机理。结果表明,Ni-Cr合金钎料中的Cr和少量Si在金刚石表面富集并与金刚石中的C发生反应生成Cr7C3、Cr3C2碳化物,其中Cr7C3呈笋状生长,Cr3C2呈片状,可能有少量SiC生成。金刚石与钎料的界面形成了金刚石\SiC、Cr3C2\Cr7C3钎料的梯度材料,实现了Ni-Cr合金与金刚石的冶金结合。 相似文献
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基于Arnoldi算法的MEMS微梁的宏建模 总被引:2,自引:0,他引:2
微机电系统通常涉及机、电、流体、热等多个耦合能量域,其设计与分析需要通过宏建模来降低复杂度。论文根据系统传递函数矩匹配原理,提出将Arnoldi算法与Taylor展开相结合来实现MEMS器件行为的宏建模,建立了典型MEMS微梁的宏模型。与有限差分法相对比,该方法可以较准确地实现MEMS器件的快速动态仿真。 相似文献
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