电子束和接触式曝光机的混合曝光技术

Ⅰ线光致抗蚀剂可以同时实用电子束和光学系统曝光，在50kV加速电压下，其曝光剂量为50-100μC/cm^2，曝光后在0.7%NaOH溶液内显影1分钟。其灵敏度比PMMA快5倍，分辩率为0.5μm。采用两方法制备CaAsPHEMT：一种用Ⅰ线光致抗蚀剂，对源、漏及栅全部都采用电子束曝光，制备了0.5μm栅长的GaAs PHEMT；另一种将源、漏及栅分割成两部分，其中精细部分由电子束曝光，其余部分由光学系统曝光，用这种方法制备了0.25μm栅长的GaAs PHEMT。Ⅰ     

Mg—Co—Al—Sb系高温NTC热敏陶瓷的研究

利用伏安法和Ｘ射线衍射仪，研究了Ｍｇ－Ｃｏ－Ａｌ－Ｓｂ系ＮＴＣ热敏陶瓷材料的成分，组织与电性能，并对其导电性能进行了理论分析，给出了随着Ｓｂ含量的增加，材料的固有电阻值显著降低；测温范围在４００－１０００℃之间，仍能保持较高灵敏度的结论，为热敏材料的研究和开发节有价值的实验资料。     

水质的改性技术

水质的改性技术是指往含油污水中加人以石灰乳为主要成份的调整剂，使原水由弱酸性或中酸性变为碱性，一般pH值控制在8－10。在碱性环境中，金属容器、管线得到了钝化，起到了防腐作用；硫酸盐还原菌及腐生菌不能繁殖和存活，起到了杀菌作用。石灰乳价格低廉，易于生产。调整剂在水中发生化学反应，生成碳酸钙、氢氧化镁，在助凝剂的作用下，裹带着水中的油滴迅速沉降。沉淀物经排污、浓缩、压滤后堆放、掩埋或再利用；上清液经过滤，完全达到了碎屑岩油藏的注水标准。处理后的水质，钙、镁离子浓度小于原水，在出站前加上适量的阻垢剂，可…     

积极巩固、发展农田水利建设成果

今年7月10日,《人民日报》上发表了一篇题为《当心失去八百里秦川水利优势》的文章,谈到关中八百里秦川,拥有四个百万亩以上的大灌区和以百计的中小型灌区,灌溉面积发展到一千四百多万亩。优越的水利条件,     

电子束焊接工艺参数与温度场的关系

采用有限元方法,定量分析了电子束焊接工艺参数与铍环内表面温度的关系。结果表明,加热深度或电子束斑点半径增加,内表面温度增加,焊接速度增加,内表面温度降低。     

填料塔持液量的研究(Ⅱ)—泛点下的持液量

本文利用Bemer等人引入填料研究的颈缩管模型解释液泛现象,并推导了液泛点条件下填料层持液量的半经验公式,用来关联本文实验数据及Egn等人的实验数据,误差在5％以下。