一种MEMS的微小滚动体动平衡测试系统

针对微小滚动体质量小、驱动难度大、不平衡量微小等特点,提出了基于MEMS的微小滚动体动平衡测试系统,分析摆架参数对动平衡测试系统振动特性的影响,把MEMS加速度传感器对称嵌入到摆架支撑上,来测量摆架振动加速度,并用经打孔处理的电路板直接作为摆架支撑,优化后的摆架质量更小,测试系统的成本更低,灵敏度更高,操作更加简便。试验数据表明,该测试系统能够实现微小滚动体动平衡检测,且具有性能稳定、灵敏度高、成本低、适用范围广等特点。